Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690
Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Предмет | Физико-химические процессы в технологии |
| Вид | дипломная работа |
| Язык | русский |
| Прислал(а) | Pet.mamontov |
| Дата добавления | 08.07.2014 |
| Размер файла | 4,8 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Характеристика процесса травления и описание получаемых при этом объектов. Основные свойства и неоднородность травления алюминиевой фольги. Математическое описание процесса формовки анодной алюминиевой фольги для электролитических конденсаторов.
контрольная работа [25,8 K], добавлен 14.05.2011Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
реферат [470,4 K], добавлен 06.01.2009Изучение устройства и принципа металлографического микроскопа. Порядок приготовления микрошлифа, демонстрация его вида до и после травления. Оптическая схема микроскопа, методика приготовления макрошлифа. Зарисовка макроструктуры полученного образца.
лабораторная работа [27,3 K], добавлен 12.01.2010Макроструктурный анализ как изучение строения металлов и сплавов невооруженным глазом или при небольшом увеличении, с помощью лупы, его основные этапы, принципы и подходы к реализации. Исследование изломов, макроструктуры металла после травления.
лабораторная работа [997,7 K], добавлен 27.03.2011Основные классификации резьб, их основные параметры и признаки. Особенности процесса резания и формирования поверхностного слоя. Влияние состава и структуры стеклопластиков на их обрабатываемость. Технологические операции и параметры процесса нарезания.
курсовая работа [2,3 M], добавлен 13.03.2011Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
курсовая работа [4,9 M], добавлен 12.06.2010Сущность производственного процесса, его виды и структура, основные операции и их назначение, отличительные черты от технологического процесса. Порядок определения трудоемкости технологической операции и нормы времени, необходимой для ее реализации.
реферат [131,9 K], добавлен 20.11.2009Расчет процесса грохочения, который используется при переработке строительных материалов. Обзор конструкции грохотов. Основы вероятностной теории процесса грохочения, его основные показатели. Технологические и конструктивные параметры оборудования.
дипломная работа [1,3 M], добавлен 02.03.2011Описание технологии производства и конструкций разрабатываемого оборудования. Технологический расчет колонны. Технологический расчет теплообменника. Расчет, выбор стандартизированного вспомогательного оборудования. Автоматизация технологического процесса.
дипломная работа [2,5 M], добавлен 03.05.2009Понятие физической абсорбции, теоретические основы разрабатываемого процесса. Основные технологические схемы для проведения химической реакции. Обоснование и описание установки, подробный расчёт абсорбера, теплообменника и вспомогательного оборудования.
дипломная работа [1,3 M], добавлен 24.10.2011
