Оптическая контактная литография
Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Предмет | Оптическая литография |
| Вид | курсовая работа |
| Язык | русский |
| Прислал(а) | Антон |
| Дата добавления | 12.06.2010 |
| Размер файла | 4,9 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.
презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013Сущность и классификация методов контактной сварки по форме сварного соединения, роду сварочного тока и характеру протекания производственного процесса. Оценка преимуществ и недостатков контактной сварки, используемое в ней оборудование и материалы.
презентация [1,0 M], добавлен 04.07.2014Основы теории и технологии контактной точечной сварки. Процессы, протекающие при контактной точечной сварке: деформирования свариваемых деталей; формирования механических и электрических контактов, электрической проводимости зоны сварки; нагрева металла.
учебное пособие [8,4 M], добавлен 21.03.2008Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.
дипломная работа [4,8 M], добавлен 08.07.2014Основные трудности сварки титановых сплавов. Выбор и обоснование разделки кромок. Специальные технические мероприятия для удаления горячих трещин и пористости в швах. Сущность электронно-лучевой сварки. Особенности автоматической сварки в защитных газах.
курсовая работа [717,1 K], добавлен 02.12.2013Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Электронно-лучевая плавка и сварка металлов. Лазерная обработка материалов и отверстий. Ионно-лучевая обработка материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография.
реферат [1,3 M], добавлен 23.06.2009Разработка технологического процесса восстановления детали. Условия работы детали и перечень дефектов детали. Подбор оборудования, режущего и измерительного инструмента, технологической оснастки. Технико-экономическая оценка технологического процесса.
курсовая работа [758,8 K], добавлен 11.06.2014Технология электронно-лучевой сварки деталей гироскопа: регламент производства работ, применяемое оборудование, приспособления, инструменты. Особенности формирования сварного шва, выбор оптимальных режимов сварки; контроль качества на герметичность.
дипломная работа [5,0 M], добавлен 22.09.2011Составление технологического процесса сборки. Выбор технологического метода сборки на основе расчёта размерной цепи. Разработка технологического процесса изготовления детали. Вид заготовки и способ ее получения. Нормирование технологического процесса.
курсовая работа [221,4 K], добавлен 20.08.2010- Анализ заводского технологического процесса механической обработки наружного кольца подшипника 50306
Назначение детали и ее технические требования. Конструкторский контроль чертежа детали. Анализ технологического процесса обработки, принятого за аналог. Станочное оборудование, оценка его прогрессивности. Расчет точности технологического процесса.
курсовая работа [74,9 K], добавлен 10.01.2011
