Оптическая контактная литография

Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.

Рубрика Производство и технологии
Предмет Оптическая литография
Вид курсовая работа
Язык русский
Прислал(а) Антон
Дата добавления 12.06.2010
Размер файла 4,9 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.

    презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013

  • Сущность и классификация методов контактной сварки по форме сварного соединения, роду сварочного тока и характеру протекания производственного процесса. Оценка преимуществ и недостатков контактной сварки, используемое в ней оборудование и материалы.

    презентация [1,0 M], добавлен 04.07.2014

  • Основы теории и технологии контактной точечной сварки. Процессы, протекающие при контактной точечной сварке: деформирования свариваемых деталей; формирования механических и электрических контактов, электрической проводимости зоны сварки; нагрева металла.

    учебное пособие [8,4 M], добавлен 21.03.2008

  • Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.

    дипломная работа [4,8 M], добавлен 08.07.2014

  • Основные трудности сварки титановых сплавов. Выбор и обоснование разделки кромок. Специальные технические мероприятия для удаления горячих трещин и пористости в швах. Сущность электронно-лучевой сварки. Особенности автоматической сварки в защитных газах.

    курсовая работа [717,1 K], добавлен 02.12.2013

  • Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Электронно-лучевая плавка и сварка металлов. Лазерная обработка материалов и отверстий. Ионно-лучевая обработка материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография.

    реферат [1,3 M], добавлен 23.06.2009

  • Разработка технологического процесса восстановления детали. Условия работы детали и перечень дефектов детали. Подбор оборудования, режущего и измерительного инструмента, технологической оснастки. Технико-экономическая оценка технологического процесса.

    курсовая работа [758,8 K], добавлен 11.06.2014

  • Технология электронно-лучевой сварки деталей гироскопа: регламент производства работ, применяемое оборудование, приспособления, инструменты. Особенности формирования сварного шва, выбор оптимальных режимов сварки; контроль качества на герметичность.

    дипломная работа [5,0 M], добавлен 22.09.2011

  • Составление технологического процесса сборки. Выбор технологического метода сборки на основе расчёта размерной цепи. Разработка технологического процесса изготовления детали. Вид заготовки и способ ее получения. Нормирование технологического процесса.

    курсовая работа [221,4 K], добавлен 20.08.2010

  • Назначение детали и ее технические требования. Конструкторский контроль чертежа детали. Анализ технологического процесса обработки, принятого за аналог. Станочное оборудование, оценка его прогрессивности. Расчет точности технологического процесса.

    курсовая работа [74,9 K], добавлен 10.01.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.