Фоторезисты (ФР), виды, требования к ним, методы нанесения
Основные параметры фоторезистов - светочувствительность, разрешающая способность, кислотостойкость, адгезия к подложке и технологичность. Понятие светочувствительности. Светочувствительность негативных фоторезистов. Пороговая светочувствительность.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Предмет | Технология изделий электронно-оптической техники |
| Вид | реферат |
| Язык | русский |
| Прислал(а) | redslive |
| Дата добавления | 06.01.2009 |
| Размер файла | 660,2 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
реферат [470,4 K], добавлен 06.01.2009Простановка размеров детали: основные требования и методы нанесения. Сущность аксонометрического проецирования, теорема Польке. Виды и построение проекций, характеристика прямоугольных аксонометрических проекций, плоских фигур, окружности, трехмерных тел.
реферат [25,3 K], добавлен 27.07.2010Методы напыления и физические основы нанесения тонких пленок, основные требования и системы оборудования для нанесения тонких плёнок, элементы вакуумных систем и устройство вакуумных камер для получения тонких плёнок. Экономическое обоснование проекта.
дипломная работа [4,2 M], добавлен 01.03.2008Общая характеристика легированных сталей и их специфические свойства: износостойкость, жаропрочность, прокаливаемость в крупных сечениях, кислотостойкость. Распределение легирующих элементов в сталях, зависимость механических свойств от их содержания.
контрольная работа [1,1 M], добавлен 17.08.2009Общие правила техники безопасности при работе с металлом. Требования к организации рабочего места слесаря. Слесарный и мерительный инструмент. Сущность и методы нанесения разметки. Понятие и виды рубки, правки, отпиливания, клепки и сверления металла.
отчет по практике [1,4 M], добавлен 27.04.2011Назначение обрабатываемой детали; ее технологичность. Общие требования к точности конструкции детали. Выбор и технико-экономическое обоснование метода получения заготовки. Конструирование и расчет приспособления для установки и крепления детали на станке.
дипломная работа [204,4 K], добавлен 15.06.2013Виды анализа конструкторской документации: производственный, расчетно-аналитический и размерный. Цели исследования на технологичность: разработка технических мероприятий, позволяющих сократить затраты на изготовление изделия без ущерба работоспособности.
контрольная работа [273,0 K], добавлен 13.09.2012Назначение защитного покрытия. Технические условия на обработку деталей, заготовку, готовую продукцию. Требования к внешнему виду после нанесения покрытия и контроль качества. Технологические расчеты и параметры действующего химического производства.
курсовая работа [105,0 K], добавлен 12.03.2010Общие правила оформления чертежей. Основные надписи и форматы. Начертания и основные назначения линий на чертежах всех отраслей промышленности и строительства. Шрифты чертежные, их типы. Правила нанесения размеров. Последовательность их нанесения.
реферат [1,1 M], добавлен 06.06.2014Определение и виды лакокрасочных покрытий. Методы их нанесения. Основные свойства лакокрасочных покрытий. Их промежуточная обработка. Защита материалов от разрушения и декоративная отделка поверхности как основное назначение лакокрасочных покрытий.
контрольная работа [172,4 K], добавлен 21.02.2010
