Характеристики микромеханических реле на основе тонких слоистых исполнительных элементов

Никель

Золото

СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ

АСМ - атомно-силовая микроскопия;

ИМ - инерционная масса;

ИС - интегральная схема;

МСТ - микросистемная техника;

МОЭМС - микрооптоэлектромеханическая система;

МЭМС - микроэлектромеханическая система;

НСТ - наносистемная техника;

НТ - нанотехнология;

ПАВ - поверхностноактивное вещество;

СЗМ - сканирующая зондовая микроскопия;

УМСТ - устройство микросистемной техники

ЧЭ - чувствительный элемент;

СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ

1. Распопов В.Я. Микромеханические приборы: учебное пособие. -

М.: Машиностроение, 2007.- 400 с.: ил.

2. В. Варадан, К. Виной, К. Джозе. ВЧ МЭМС и их применение.

М.: Техносфера, 2004. - 528 с.

3. В.А. Гридчин. Физические основы сенсорной электроники, часть 1 - Сенсоры механических величин: учебное пособие.

Н.: Новосиб. гос. тех. ун-т, 1995. - 107 с.

4. Ю.И. Головин. Введение в нанотехнику. М.: Машиностроение, 2007. - 496 с.

5. D. Hyman, M. Mehregany. Contact physics of gold microcontacts for MEMS swiches. Components and Packaging Technologies, IEEE Transactions, vol. 22, Issue 3, pp. 357 - 364, 1999. Digital Object Identifier - 10.1109/6144.796533.

6. C. Goldsmith, T.Lin, B. Powers, W.Wu, B.Norvell. Micromechanical membrane switches for microwave applications. IEEE MTTS International Microwave Symposium Digest, vol.1, pp. 91-94, 1995. Digital Object Identifier - 10.1109/MWSYM.1995.406090.

7. C. Goldsmith, Z. Yao, S. Eshelman, D. Denniston. Performance of Low-Loss RF MEMS Capacitive Switches. IEEE Microwave and Guided Wave Letters, vol. 8, Issue 8, pp. 269 - 271, 1998. Digital Object Identifier - 10.1109/75.704410.

8. Н.И. Мухуров, Г.И. Ефремов. Электростатическое реле с массивным якорем, М.: Новые технологии. Микросистемная техника, 3 с., 2007, №4.

9. В.М. Любимский. Изгибы круглой и прямоугольной диафрагм при действии электростатического притяжения и поперечной нагрузки, М.: Новые технологии. Микросистемная техника, 6 с., 2007, №5.

10. Буркат Г.К. Серебрение, золочение, палладирование и родирование. Л.: Машиностроение, 1984. - 86 c.

11. С. Leondes (editor). MEMS/NEMS Handbook techniques and applications, vol. 4 Sensors and actuators, pp. 325 - 332, 2006.

12. В.В. Старостин. Материалы и методы нанотехнологии,

М.: Бином, 2008. - 431 с.

13. В.А. Гридчин, В.П. Драгунов. Физика микросистем: Учеб. пособие в 2 ч. Ч 1.

Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. - 416 с.

14. S. Pacheco, C.T.-C. Nguen, L.P.B. Katehi. Micromechanical Electrostatic K-Band

Switches. IEEE MTT-S International Microwave Symposium, vol. 3, pp. 1569 -1572,

June 1998. Digital Object Identifier: 10.1109/MWSYM.1998.700675.

15. S.-C. Shen, M. Feng. Low actuation voltage RF MEMS switches with signal

frequencies from 0.25 to 40 GHz. IEEE. Electron Devices Meeting, 1999. IEDM

Technical Digest. International, pp. 689 - 692.

Digital Object Identifier: 10.1109/IEDM.1999.824245

16. A. N. Podobaev, S. S. Kruglikov, P. Becker and M. Mattiesen. Electrochemical estimation of developed roughness of galvanic nickel coatings, 2005, "Protection of metals", vol. 41, №4, pp.363-368.

17. J.K. Luo, A.J. Flewitt, S.M. Spearing, N.A. Fleck, W.I. Milne. Young's modulus of electroplated Ni thin film for MEMS applications, 2004, "Materials letters", vol. 58, №17-18, pp.2306-2309.

18. Ямпольский А.М., Ильин В.А. Краткий справочник гальванотехника. М.: Машиностроение, 1962. - 244 с.

19. Садаков Г.А. Гальванопластика. М.: Машиностроение, 1987. - 288 c.

20. Д.В. Болтунов, А.А. Жуков, Л.В. Гребенюк. Особенности формирования и

характеристики балочных подвижных элементов на основе гальванически

осажденного никеля. 15-я Международная научно-техническая конференция

студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика»,

2009, стр. 95 - 96.

21. Д.В. Болтунов, А.А. Жуков, Л.В. Гребенюк. Особенности формирования и характеристики балочных подвижных элементов на основе гальванически осажденного никеля. 15-я Международная научно-техническая конференция студентов и аспирантов «Радиоэлектроника, электротехника и энергетика», 2009, с. 95 - 96.

22. В.А. Королева, Д.В. Болтунов, Л.В. Гребенюк, А.А. Жуков. Исследование морфологии пленок гальванического никеля для устройств микросистемной техники. 1с., 2010, VIII научно-техническая конференция «Микротехнологии в космосе» с международным участием.

23. А.Е. Ануров, Д.В. Болтунов, А.А. Жуков. Исследование механических характеристик подвижных исполнительных элементов на основе гальванического никеля для устройств микросистемной техники, 2с., 2010, VIII научно-техническая конференция «Микротехнологии в космосе» с международным участием.

24. ГОСТ 2789-73: Шероховатость поверхности. Параметры и характеристики.ISO

25. 468:1982 -- Шероховатость поверхности. Параметры, их значения и общие правила установления технических требований. (Surface roughness -- Parameters, their values and general rules for specifying requirements).

26. В.П. Драгунов. Влияние формы упругого элемента на характеристики микроэлектромеханических систем, М.: Новые технологии. Микросистемная

техника, 6 с., 2004, №1.

27. А.Г. Алексенко, Н.Н. Балан. Анализ эффекта схлопывания электродов электростатических актюаторов (Pull-in instability) в MEMS- и NEMS- устройствах, М.: Новые технологии. Микросистемная техника, 9 с., 2005, №7.

28. В.К. Неволин. Зондовые нанотехнологии в электронике,

М.: Техносфера, 2006. - 160 c.

29. А.П. Крюков. Элементы физической кинетики,

М.: издательство МЭИ, 1995. - 72 c.

30. В.В. Буринский. Измерение и обработка результатов: курс лекций. М: изд-во МНЭПУ, 2000. - 156 с.

Патенты:

Richard D. Nelson, William G. Flynn, and David A. Goins - Tex. (US), Austin “Plate-based microelectromechanical switch having a three-fold relative arrangement of contact structures and support arms”, No.: US 7,119,943 B2.

Lawrence E. Dickens (Baltimore, MD), Fred E. Sacks(Reisterstown, MD), Howard Fudem(Baltimore, MD), Don E. Crockett (Columbia, MD), Frank Lindberg(Baltimore, MD), Robert Young (Ellicott City, MD), Gregory DeSalvo (Bellbrook, OH) - Northrop Grumman Corporation (Los Angeles), “Microelectromechanical RF switch” , No.: 10/157,935.

Ссылки:

а) Портал новостей «3Д-Ньюз» - http://www.3dnews.ru/news/samii_bistrii_svch_kommutator_ot_teravicta/

б) Федеральное космическое агенство «Роскосмос» - www.federalspace.ru/

Размещено на Allbest.ru