Оптимизация процесса плазмохимического травления на установке LAM690

Пыли (аэрозоли) не обладают выраженной токсичностью. Они, попадая в органы дыхания, вызывают повреждения слизистой оболочки верхних дыхательных путей и, задерживаясь в легких, вызывают воспаление легочной ткани. Профессиональные заболевания, связанные с воздействием аэрозолей, называются пневмокониозами. Результатом вдыхания человеком пыли являются пневмосклерозы, хронические пылевые бронхиты, пневмонии, туберкулезы, рак легких.

- Запылённость и загазованность воздуха рабочей зоны нормируется с помощью предельно-допустимой концентрации (ПДК) вредных веществ в воздухе рабочей зоны.

ПДК (мг/м ) - это такие концентрации, которые при ежедневной работе (кроме выходных дней) продолжительностью не более 40 часов в неделю в течение рабочего стажа не вызывают заболеваний или отклонений здоровья (обнаруживаемых современными методами исследований) в процессе работы или в отдаленные сроки жизни настоящих и последующих поколений.

- чрезвычайно опасные (ПДК меньше 0,1 мг/м3);

- высоко опасные (ПДК 0,1 - 1,0 мг/м3);

- умеренно опасные (ПДК 1,1-10,0 мг/м3);

- мало опасные (ПДК более 10мг/м3).

Мероприятия по защите от воздействия вредных веществ:

- внедрение комплексной механизации и автоматизации производственных процессов, применение дистанционного управления и автоматизации контроля за ходом технологического процесса;

- замена вредных веществ в производстве на безвредные или менее вредные;

- гигиеническая стандартизация химического сырья и продукции;

- организация систематического санитарно-химического контроля воздуха рабочей зоны;

- санитарно-бытовое и лечебно-профилактическое обеспечение работающих;

- эффективная вентиляция производственных помещений.

При проведении ПХТ возможно поражение работников электрическим током, поэтому необходимо соблюдать электробезопасность.

Электробезопасность - это система организационных и технических мероприятий и средств, обеспечивающие защиту людей от вредного и опасного воздействия электрического тока, электрической дуги, электромагнитного поля и статического электричества.

Поражение человека электрическим током возможно только при замыкании электрической цепи через тело человека:

- прикосновении к открытым токоведущим частям оборудования и проводам;

- прикосновении к корпусам электроустановок, случайно оказавшимся под напряжением (повреждение изоляции);

- освобождении человека, находящегося под напряжением;

Обеспечение электробезопасности техническими способами:

- изоляция, предназначена для исключения контакта отдельных проводников между собой или с металлическими частями не находящимися под напряжением;

- защитное заземление - это преднамеренное электрическое соединение с землёй металлических нетоковедущих частей электроустановок, которые могут оказаться под напряжением;

- применение малого напряжения.

- защита от случайного прикосновения к токоведущим частям предполагает их расположение на высоте, недоступной для прикосновения или применение ограждения, блокировки, сигнализации.

Требования к персоналу, обслуживающему электроустановки.

- коллективные - обеспечивают защиту всех работающих на участке;

- индивидуальные - используется лично работником для предотвращения или уменьшения воздействия на него ОПФ и ВПФ.

Средства коллективной защиты (СКЗ) классифицируются в зависимости от ОПФ и ВПФ , а средства индивидуальной защиты (СИЗ) - в основном в зависимости от защищаемых органов или группы органов. СИЗ являются вспомогательными средствами и применяются в тех случаях, когда безопасность не обеспечивается за счет применения СКЗ.

- ограждения;

- блокировочные, тормозные, предохранительные устройства;

- световая и звуковая сигнализация;

- знаки безопасности;

- вентиляция;

- изолирующие, герметизирующие средства.

СИЗ подразделяются на следующие виды:

- изолирующие костюмы;

- средства защиты органов дыхания (противогазы, респираторы );

- специальная одежда (комбинезоны, халаты, костюмы );

- специальная обувь;

- средства защиты рук (перчатки, рукавицы).

При проведении процессов ПХТ, необходимо не забывать о соблюдении мероприятий по охране окружающей среды (ООС).

- подключение вытяжной вентиляции выхлопных патрубков вакуумных насосов к системе, оборудованной скрубберами;

- устранение или снижение, статистического напряжения и других физических факторов;

- применение мер, направленных на предотвращение проявление опасных и вредных производственных факторов в случаи аварии;

- использование газоанализаторов и сигнализаторов, связанных с автоматической системой защиты (автоблокировка, аварийная вентиляция);

- максимальная утилизация производственных отходов;

- сокращение водопотребления и водоотведения, широкое использование оборотного и повторного водоснабжения;

- улавливание, рекуперация и очистка технологических выбросов;

- контроль за точным соблюдением технологического регламента производства и за работой контрольно-измерительных приборов, автоматических систем управления технологическим процессом ПХТ.

Для поддержания ООС, необходимо строительство и ввод в действие нового оборудования по переработке отходов производства, повышение эффективности существующих природоохранных сооружений, а также профилактические и капитальные ремонты газопылеулавливающих сооружений.

Заключение

В технологическом разделе описан процесс травления алюминия и контроль качества, а так же виды брака, возникающие при этом процессе. Кроме того рассмотрено устройство и принцип действия установки для плазмохимического травления LAM690.

В экспериментальной части описаны результаты исследований по оптимизации режима травления. Выбраны оптимальные мощность, расход газа для травления, а так же определен оптимальный срок хранения пластин от задубливания до травления. Данные условия проведения процесса травления обеспечивают минимальный уход линейных размеров элементов и минимум дефектности.

В разделе " Охрана труда и окружающей среды" рассмотрены опасные и вредные факторы, возникающие на данной операции и меры их предупреждения.

В экономической части было проведено технико - экономическое обоснование предложенной оптимизации.

2. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка

материалов. М.: Радио и связь. 1986. - 232 с.

3. Черняев В.Н. Физико-химические процессы в технологии РЭА. М.:

4. Киреев В. Ю., Данилин Б. С., Кузнецов В. И. Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур. М.: Радио и связь, 1983. 128 с.

5. Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники. В3-х т. Том2 / А.П. Достанко, С.В. Бордусов, И.В. Свадковский и др.; Под общ. ред. А.П. Достанко. - Минск: ФУАинформ, 2001. - 244 с.

6. Плазменная технология в производстве СБИС. / Под ред. Н.Айнспрука, Д.Брауна. Пер. с англ. М.: Мир. 1987. - 470 с.