Исследование влияния параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрические и магнитные свойства тонких пленок Со

В соответствии с СН-181-70 рекомендуются следующие цвета окраски помещений: потолок - белый или светлый цветной; стены - сплошные, светло-голубые; пол - темно-серый, темно-красный или коричневый. Применение указанной палитры цветов обусловлено ее успокаивающим воздействием на психику человека, способствующим уменьшением зрительного утомления. При выполнении интерьера, обычно выбирают не более трех основных цветов небольшой насыщенности. Окраска оборудования и приборов, в основном, имеет светлые цвета с высококонтрастными органами управления и надписями к ним.

Перечень графического материала:

При необходимости представить эскизные графические материалы к расчётному заданию (обязательно для специалистов и магистров).

Дата выдачи задания для раздела по линейному графику

Задание выдал консультант:

Должность	ФИО	Ученая степень, звание	Подпись	Дата
Доцент	Кузнецов В.П.	К.т.н.

Задание принял к исполнению студент:

Группа	ФИО	Подпись	Дата
4Б00	Хайруллин Рустам Равильевич

5. Социальная ответственность

5.1 Введение

В основных положениях экономического и социального развития наряду с интенсификацией работ по созданию высокоэффективного оборудования и материалов, новых технологических процессов немалую роль отводят вопросам охраны труда, улучшению условий труда.

По характеру физической нагрузки согласно ГОСТ 12.1.005 - 88 работа инженера-исследователя относится к разряду легких (категория I) с энергозатратами до 174 Вт, но она сопряжена с большой умственной и нервно-психологической нагрузкой. Длительная работа в помещении при плохой вентиляции, повышенной или пониженной температуре и влажности воздуха, плохом освещении неблагоприятно сказывается на здоровье работающего, что неизбежно влечет за собой снижение производительности труда.

Научно-исследовательская работа выполнялась в лаборатории Физики поверхностных явлений при ИФПМ СО РАН. Рабочей зоной являлось помещение лаборатории площадью 60 м2, включающее 8 персональных компьютеров, атомно-силовой микроскоп, оптический микроскоп, микротвердомер, микроинтерферометр, установку для измерения удельного электрического сопротивления. Так как работа осуществлялась в различных пунктах рабочей зоны, то постоянным рабочим местом является вся рабочая зона (ГОСТ 12.1.005 - 88).

В данном разделе рассмотрены вредные и опасные факторы, действующие на сотрудника лаборатории, разработаны требования безопасности и комплекс защитных мероприятий на рабочем месте. Также этот раздел включает подразделы охраны окружающей среды и чрезвычайных ситуаций.

5.2 Техногенная безопасность

5.2.1 Вредные факторы

В условиях ИФПМ СО РАН на производительность труда инженера-исследователя, находящегося на рабочем месте, влияют следующие вредные производственные факторы (О и В ПФ ГОСТ 12.0.003-74) 24:

1. Отклонение температуры и влажности воздуха от нормы.

2. Недостаточная освещенность рабочего места.

3. Повышенный уровень электромагнитных излучений.

Микроклимат

Основными факторами, характеризующими микроклимат производственной среды, являются: температура, подвижность и влажность воздуха.

Отклонение данных параметров от нормы приводит к ухудшению самочувствия работника, снижению производительности труда и к возникновению различных заболеваний.

Повышенная температура воздуха приводит к утомляемости работника, перегреву его организма и даже может стать причиной теплового удара. Пониженная температура воздуха способствует охлаждению организма, что приводит к простудным заболеваниям либо обморожениям.

Повышенная относительная влажность в сочетании с высокой температурой воздуха может привести к перегреву организма, а в сочетании с низкой температурой - к увеличению теплоотдачи с поверхности кожи, что ведет к переохлаждению. Пониженная влажность вызывает ощущение сухости слизистых оболочек дыхательных путей работника [25].

При нормировании метеорологических условий в производственных помещениях учитывают категорию выполняемых работ, сезон, а также количество избыточного тепла в помещении [25]. Оптимальные и допустимые метеорологические условия температуры и влажности устанавливаются согласно ГОСТ 12.1.005-88 (Таблица 14).

Таблица 14 - Комплекс требований для нормального протекания трудового процесса

Характеристика помещения и категория работ	Период года	Оптимальные	Допустимые
		Температура воздуха, оС	Относительная влажность, %	Температура воздуха, оС	Относительная влажность, %
Помещения, характеризуемые незначительными избытками явной теплоты	Холодный период года (температура наружного воздуха меньше 10оС)	20-22	60-30	17-22	не более 75
Категория работ - легкая	теплый период года (температура наружного воздуха выше 10оС)	22-25	60-30	Не более, чем на 3С выше средней температуры наружного воздуха в 13 часов самого жаркого месяца, но не более 25С	При 28С- не более 55; при 27С- не более 60; при 24С- не более 75.

В целях поддержания нормальных параметров микроклимата в рабочей зоне применяются следующие мероприятия: устройство систем вентиляции, кондиционирование воздуха и отопление.

Освещенность

Среди технических требований к рабочему месту инженера особенно важным является требование к освещенности, которая значительно влияет на эффективность трудового процесса. Недостаточная освещенность способствует возрастанию нагрузки на органы зрения и приводит к утомляемости организма. Поэтому необходимо обеспечить оптимальное сочетание общего и местного освещения.

Естественное освещение должно удовлетворять СНиП II-4-79. Нормы естественного освещения установлены с учетом обязательной регулярной очистки стекол световых проемов не реже двух раз в год (для помещений с незначительным выделением пыли, дыма и копоти). Учитывая, что солнечный свет оказывает благоприятное воздействие на организм человека, необходимо максимально продолжительно использовать естественное освещение.

В соответствии с характером выполняемых работ, освещенность рабочего места по СНиП II-4-79 должна быть 200 Лк - общая освещенность и 300 лк -- комбинированное освещение.

Электромагнитное излучение

Дипломная работа выполнялась с применением персональных компьютеров (ПЭВМ) типа IBM PC. Основным вредным фактором, воздействию которого подвергается инженер-исследователь при работе за компьютером, является электромагнитное излучение. Оно пагубно влияет на костные ткани, ухудшает зрение, повышает утомляемость, а также способствует ослаблению памяти и возникновению онкологических заболеваний.

Безопасные уровни излучений регламентируются нормами СанПиН 2.2.2/2.4.1340-03 и представлены в таблице 15.

Таблица 15 - Временные допустимые уровни (ВДУ) электромагнитных полей, создаваемых ПЭВМ на рабочих местах

Наименование параметров	ВДУ
Напряженность электрического поля	в диапазоне частот 5 Гц - 2 кГц	25 В/м
	в диапазоне частот 2 кГц - 400 кГц	2,5 В/м
Плотность магнитного потока	в диапазоне частот 5 Гц - 2 кГц	250 нТл
	в диапазоне частот 2 кГц - 400 кГц	25 нТл
Напряженность электростатического поля	15 кВ/м

С целью снижения вредного влияния электромагнитного излучения при работе с компьютером необходимо соблюдать следующие общие гигиенические требования [25]:

1. Длительность работы без перерыва взрослого пользователя должна быть не более 2 ч, ребенка -10ч20 мин, в зависимости от возраста. В процессе работы следует менять содержание и тип деятельности (чередовать ввод данных и редактирование). Согласно требованиям санитарных норм необходимы обязательные перерывы при работе за компьютером, во время которых рекомендовано делать упражнения для глаз, рук и опорно-двигательного аппарата.

2. Рабочее место с компьютером должно располагаться по отношению к окнам таким образом, чтобы лучи света падали слева. Если в помещении находится несколько компьютеров, то расстояние между экраном одного монитора и задней стенкой другого должно быть не менее 2 м, а расстояние между боковыми стенками соседних мониторов - 1,2 м. Оптимальным расстоянием между экраном монитора и глазами работника является 60ч70 см, но не ближе 50 см.

3. Для ослабления влияния рассеянного рентгеновского излучения от монитора ПК рекомендуется использовать защитные фильтры (экраны).

5.2.2 Опасные факторы

Согласно ГОСТ 12.0.003-74 инженер-исследователь при работе в лаборатории ИФПМ СО РАН может быть подвергнут действию следующих опасных факторов [24]:

опасность поражения электрическим током, поскольку работать приходится с оборудованием, питающимся от сети ~220 В 50 Гц

возникновение пожаров в результате короткого замыкания.

Электробезопасность

Основными причинами воздействия тока на человека являются [25]:

1. Случайное прикосновение или приближение на опасное расстояние к токоведущим частям;

2. Появление напряжения на металлических частях оборудования в результате повреждения изоляции или ошибочных действий персонала;

3. Шаговое напряжение на поверхности земли в результате замыкания провода на землю;

4. Появление напряжения на отключенных токоведущих частях, на которых работают люди, вследствие ошибочного включения установки;

5. Освобождение другого человека, находящегося под напряжением;

6. Воздействие атмосферного электричества, грозовых разрядов.

Согласно ГОСТ 12.1.038-82 26 предельно допустимые уровни напряжения прикосновения и токов, воздействию которых человек может подвергаться в процессе работы с электрооборудованием, составляют для установок в нормативном режиме: для постоянного тока - не более 0,8 В и 1мА соответственно, для переменного тока (частота 50 Гц) - не более 2,0 В и 0,3 мА соответственно.

Настоящая инструкция распространяется на всех лиц, выполняющих работы с установками и приборами:

1. К работе с электроустановками допускаются лица, имеющие третью либо четвертую группы допуска, устанавливаемые квалификационной комиссией.

2. Лица, не имеющие непосредственного отношения к обслуживанию электроустановок, к работе с ними не допускаются.

3. Все питающие части должны быть заземлены. Сопротивление заземления должно не превышать 4 Ом.

4. Перекоммутацию кабелей, соединяющих периферийные устройства с ЭВМ, а также установку плат дополнительных устройств (модемов, портов ввода-вывода и т.д.) в слоты шины расширения компьютера необходимо осуществлять только при отключенном питании.

5. При замене (установке) плат расширения необходимо пользоваться браслетом заземления, либо перед осуществлением этой операции избавиться от накопленного на теле статического заряда посредством прикосновения к зануленной части компьютера, в противном случае возможно повреждение чувствительных к статике микроэлементов ЭВМ.

6. При приближении грозы необходимо оперативно закончить работу на компьютере и отключить его от сети во избежание повреждения последовательного порта и исключения сбоев при возможных скачках напряжения в сети, характерных в подобных случаях.

Меры первой помощи зависят от состояния, в котором находится пострадавший после освобождения его от электрического тока.

Для определения этого состояния необходимо немедленно произвести следующие мероприятия:

1. Уложить пострадавшего на спину на твердую поверхность.

2. Проверить наличие у пострадавшего дыхания (определяется по подъему грудной клетки или каким-либо другим способом).

3. Проверить наличие у пострадавшего пульса на лучевой артерии у запястья или на сонной артерии, на переднебоковой поверхности шеи.

4. Выяснить состояние зрачка (узкий или широкий); широкий зрачок указывает на резкое ухудшение кровоснабжения мозга.

5. При признаках остановки сердца или отсутствии дыхания произвести непрямой массаж сердца и искусственное дыхание.

Во всех случаях поражения электрическим током вызов врача является обязательным независимо от состояния пострадавшего.

С точки зрения электробезопасности (ГОСТ 12.1.030-81) 26, оборудование, запитываемое напряжением выше 42 В, должно быть заземлено или занулено. Зануление - более эффективная мера, чем защитное заземление, поскольку в критическом случае ток короткого замыкания при занулении больше, чем при заземлении, следствием чего является более быстрое срабатывание предохранительных устройств. Во многих случаях это позволяет сберечь дорогостоящее оборудование от повреждений. Соединяющие проводники электрооборудования изготовляют из медного провода сечением 1,5 мм2, покрытым изоляционным слоем лака для защиты от окисления. Кроме того, обязательно должна быть предусмотрена возможность быстрого отключения напряжения с разделительного щита.

Меры профилактики и средства защиты от пожаров рассмотрены в подразделе чрезвычайные ситуации.

5.3 Охрана окружающей среды

История влияния человека на биосферу показывает, что технический прогресс агрессивно воздействует на окружающую среду, создавая предпосылки для возникновения экологических кризисов. В то же время он расширяет возможности устранения создаваемых человеком ухудшений природой среды. Защита окружающей среды - это комплексная проблема, требующая усилий всего человечества. Наиболее активной формой защиты окружающей среды от вредного воздействия выбросов промышленных предприятий является полный переход к безотходным и малоотходным технологиям и производствам. Это потребует решения целого комплекса сложных технологических конструкторских и организационных задач, основанных на использовании новейших научно-технических достижений.

Под понятием “безотходная технология” следует понимать комплекс мероприятий в технологических процессах от обработки сырья до использования готовой продукции, в результате которых сокращается до минимума количество вредных примесей в выбросах и уменьшается воздействие отходов на окружающую среду до приемлемого уровня. В этот комплекс мероприятий входят:

- воссоздание и внедрение новых процессов получения продукции с образованием наименьшего количества отходов;

- разработка различных типов бессточных технологических систем водооборотных циклов на базе способов очистки сточных вод;

- разработка систем переработки отходов производства во вторичные материальные ресурсы;

- создание территориально промышленных комплексов, имеющих замкнутую структуру материальных потоков сырья и отходов внутри комплекса.

Пассивные методы защиты окружающей среды включают комплекс мероприятий по ограничению выбросов промышленного производства с последующей утилизацией и захоронением отходов.

В охране окружающей среды важную роль играют службы контроля качества окружающей среды, призванные вести систематизированные наблюдения за состоянием атмосферы, воды и почв для получения фактических уровней загрязнения окружающей среды

5.4 Организационные мероприятия обеспечения безопасности

Одним из факторов комфортности рабочей среды является организация рабочего места.

Рабочее место - это часть помещения предприятия (организации), имеющая площадь и объем, достаточный для размещения инженера и необходимого оборудования (рабочего стола, стула, контрольно-измерительных приборов, станков, а также справочных и рабочих материалов, инструментов, вычислительной техники и т.д.).

Рабочее место должно соответствовать требованиям ГОСТ 12.2.032-78 24:

а) рабочий стол должен быть устойчивым, иметь однотонное неметаллическое покрытие, не обладающее способностью накапливать статическое электричество;

б) рабочий стул должен иметь дизайн, исключающий онемение тела из-за нарушения кровообращения при продолжительной работе на рабочем месте.

в) рабочее место должно соответствовать техническим требованиям и санитарным нормам.

В соответствии с СН-245-71 26 в помещении должен быть организован воздухообмен. Это осуществляется с помощью вентиляции.

Для улучшения воздухообмена в помещении необходимо выполнить следующие технические и санитарно-гигиенические требования:

- общий объем притока воздуха в помещении должен соответствовать объему вытяжки;

- правильное размещение приточной и вытяжной вентиляции.

Расчет необходимого воздухообмена ведется по следующим факторам: по количеству работающих, влаговыделению, теплоизбыткам, поступлению в воздух рабочей зоны вредных газов, паров и пыли.

Исходя из того, что три последних фактора не оказывают существенного влияния на микроклимат лаборатории, то расчет воздухообмена проводится исходя из количества работающих:

L = n · L0,

где n - число работников;

L0 - расход воздуха на одного работающего, принимаемый в зависимости от объема помещения на одного работающего.

Согласно СН-245-71 26 объем производственных помещений должен быть таким, чтобы на одного работающего приходилось не менее 15 м3 свободного пространства и не менее 6 м2 площади. Следовательно, согласно СП 2.2.1.1312-03 26 при наличии естественной вентиляции следует проектировать подачу наружного воздуха в количестве не менее 30 мі/ч на каждого работающего.

В соответствии с указаниями по проектированию цветовой отделки помещений производственных зданий, согласно “Указаниям по проектированию цветовой отделки интерьеров производственных зданий промышленных предприятий” (СН-181-70) 24, рекомендуются следующие цвета окраски помещений:

-потолок - белый или светлый цветной;

-стены - сплошные, светло-голубые;

-пол - темно-серый, темно-красный или коричневый.

Применение указанной палитры цветов обусловлено ее успокаивающим воздействием на психику человека, способствующим уменьшением зрительного утомления.

При выполнении интерьера, обычно выбирают не более трех основных цветов небольшой насыщенности. Окраска оборудования и приборов, в основном, имеет светлые цвета с высококонтрастными органами управления и надписями к ним.

5.5 Чрезвычайные ситуации

В ИФПМ СО РАН наиболее вероятно возникновение чрезвычайных ситуаций (ЧС) техногенного характера. ЧС техногенного характера -- это ситуации, которые возникают в результате пожаров, взрывов, производственных аварий и катастроф на объектах, транспортных магистралях и продуктопроводах; загрязнения местности и атмосферы сильнодействующими ядовитыми веществами (СДЯВ), отравляющими веществами (ОВ), радиоактивными и биологически опасными веществами. Катастрофы и аварии на объектах характеризуются внезапным обрушением зданий, сооружений, авариями на энергетических сетях (ЛЭП, ТЭЦ, АЭС и др.), авариями на очистных сооружениях, технологических линиях, в коммунальном жизнеобеспечении и т. д [27].

На случай возникновения чрезвычайной ситуации (землетрясение, наводнение, пожары, химическое либо радиоактивное заражение и т.п.) должен быть предусмотрен следующий комплекс мероприятий:

- рассредоточение и эвакуация;

- укрытие людей в защитных сооружениях;

- обеспечение индивидуальными средствами защиты;

- организация медицинской помощи пострадавшим.

В чрезвычайной обстановке особенно важное значение имеют сроки эвакуации людей за пределы зон возможного поражения или разрушений. В наиболее короткие сроки эвакуацию можно провести комбинированным способом, который заключается в том, что при его применении массовый вывод населения пешим порядком сочетается с вывозом некоторых категорий населения (пенсионеры, инвалиды, больные и т.д.) всеми видами имеющегося транспорта.

Рассредоточение и эвакуация населения комбинированным способом осуществляется по территориально-производственному принципу. Это значит, что вывод населения организуется через предприятия, учреждения, учебные заведения и домоуправление по месту жительства.

Ведение спасательных работ в районах производственных аварий существенно различаются в зависимости от размеров и опасности аварий и катастроф. Однако, ряд требований к организации спасательных работ является общим.

Работы надо начинать немедленно, чтобы не дать возможности аварии разрастись до катастрофических размеров. Очень важно обеспечить общественный порядок, что даст возможность свободному прибытию формирований гражданской обороны (ГО) к месту аварий. Формирования охраны общественного порядка должны приступить к работе в первую очередь.

Очень важны действия аварийно технических формирований, которые немедленно должны отключить еще не поврежденные энергетические и коммунально-технические сети для локализации аварии.

Спасательные формирования ГО должны как можно быстрее приступить к работам по спасению людей, действуя совместно с формированиями ГО медицинской службы.

При недостатке сил своего объекта для спасательных работ распоряжением старшего начальника могут привлекаться территориальные формирования ГО и другие силы. Чем организованней, быстрее сработают все подразделения различных служб, тем меньше материального ущерба и человеческих жизней унесет авария.

Неотъемлемой частью комплекса защитных мероприятий на рабочем месте является мероприятия, направленные на обеспечение противопожарной безопасности. Используемый технологический процесс в условиях ИФПМ СО РАН согласно СНиП 11-2-80 относится к категории Д, так как использует негорючие вещества в холодном состоянии. В данном случае источником возгорания может оказаться неисправность и неправильная эксплуатация электроустановок.

Существует 5 степеней огнестойкости зданий, сооружений. Помещение лаборатории можно отнести к первой степени огнестойкости.

Предусмотренные средства пожаротушения (согласно требованиям противопожарной безопасности СНиП 2.01.02-85): огнетушитель ручной углекислотный ОУ-5, пожарный кран с рукавом и ящик с песком (в коридоре). Кроме того, каждое помещение оборудовано системой противопожарной сигнализации.

Основными мероприятиями, обеспечивающими успешную эвакуацию людей и имущества из горящего здания, являются:

составление планов эвакуации;

назначение лица, ответственного за эвакуацию, которое должно следить за исправностью дверных проемов, окон, проходов и лестниц;

ознакомление работающих в лаборатории сотрудников с планом эвакуации, который должен висеть на видном месте.

План эвакуации приведен на рисунке 24.



Рисунок 24- План эвакуации при пожаре

Заключение

В результате проведенных исследований установлено, что пленки Со, полученные методом химического осаждения из диимината кобальта Co(N'acN'ac)2 из газовой фазы, содержат кристаллы б-Co и в-Co независимо от параметров осаждения. Варьирование температуры испарителя и температуры подложки в процессе CVD-осаждения позволяет в широких пределах изменять химический состав, структуру и толщину пленок Co. Так, увеличение температуры подложки приводит к снижению содержания кобальта, к уменьшению размеров областей когерентного рассеяния и величины микронапряжений, а также способствует уменьшению толщины и исчезновению зеренной структуры пленок. В свою очередь, увеличение температуры испарителя позволяет увеличить толщину пленок, но при этом снижается степень влияния температуры подложки на структурные параметры пленок Со, а также сужается диапазон температур, при которых в образцах формируется кристаллическая структура.

Изменение структуры и элементного состава пленок Co позволяет в управлять их магнитными и электрическими свойствами. С увеличением среднего размера зерна намагниченность пленок возрастает, а коэрцитивная сила и удельное электрическое сопротивление уменьшаются. С ростом содержания кобальта уменьшается электросопротивление, возрастают остаточная намагниченность и намагниченность насыщения пленок Со. Увеличение степени текстурированности пленок повышает их коэрцитивную силу.

Таким образом, выбор оптимального сочетания параметров осаждения позволяет получать пленки кобальта с заданной микроструктурой, а, следовательно, с требуемыми магнитными и электрическими свойствами. Установлено, что пленки Co с высокими магнитными и электрическими характеристиками при хорошей адгезии получаются при температуре испарителя, равной 130 0С, и при температуре подложки, равной 320-330 0С.

Список публикаций студента

1. Хайруллин Р. Р. Получение тонких пленок Ni и Co методом плазмохимического осаждения. Formation of Ni and Co thin films by chemical vapor deposition / С. И. Доровских // Сборник материалов Международной молодежной конференции «Лазерная физика, наноструктуры, квантовая микроскопия», Томск, 17-18 сентября 2012. - С.65-69.

2. Хайруллин Р. Р. Влияние параметров MOCVD-осаждения на структуру, электрофизические и магнитные свойства тонких пленок Co / С. И. Доровских // Сборник материалов Всероссийской молодежной научной школы «Химия и технология полимерных и композиционных материалов», Москва, 26-28 ноября 2012. - С.304.

3. Хайруллин Р. Р. Микроструктура и свойства пленок Co, формируемых методом химического осаждения / С. И. Доровских // Сборник научных трудов II Всероссийской научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов с международным участием «Высокие технологии в современной науке и технике», Томск , 27-29 марта 2013. -- С. 303-308.

4. Хайруллин Р. Р. Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD) / C. И. Доровских // Сборник трудов XIX Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Современные техника и технологии», Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 15-19 апреля 2013. - С. 178-179.

5. Хайруллин Р. Р. Влияние температур подложки и испарителя на структуру, фазовый и элементный составы, магнитные и электрические свойства пленок кобальта, полученных методом химического осаждения из газовой фазы / С. И. Доровских // Сборник научных трудов VII Международной научно-технической конференции «Современные проблемы машиностроения», Томск, 11-15 ноября 2013 - С. 139-144

6. Хайруллин Р. Р. Получение пленок Co методом MOCVD из диимината кобальта Co(N'acN'ac). Влияние температуры осаждения / С. И. Доровских // Сборник тезисов и статей VI Международной школы «Физическое материаловедение», Новочеркасск, 15-19 октября 2013 г - С. 127-130.

7. Хайруллин Р. Р. Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD / С. И. Доровских // Сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов «Высокие технологии в современной науке и технике», Томск, 26-28 марта 2014. - С. 160-164.

8. Хайруллин Р. Р. О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения/ С. И. Доровских // Материалы XIV Международной научно-практической конференции (14.03.2014) «Современное состояние естественных и технических наук», М: Изд-во «Спутник +», 2014. - С. 27-29.

9. Хайруллин Р. Р. Закономерности структурообразования пленок Co, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения / С. И. Доровских // Сборник трудов Всероссийской научно-практической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов «Современное состояние и проблемы естественных наук», Юрга: Изд-во Томского политехнического университета, 17-18 апреля 2014. - С. 48-51.

10. Хайруллин Р. Р. Температурные условия CVD-осаждения как определяющий фактор в формировании пленок кобальта с заданными эксплуатационными характеристиками / С. И. Доровских // Сборник научных трудов XI Международной конференции студентов и молодых ученых «Перспективы развития фундаментальных наук», Томск, 22-25 апреля 2014. - С. 244-246.

11. Hairullin R. R. XRD Investigations of Co Films Deposited by CVD / S. I. Dorovskikh // Сборник докладов XX Международной юбилейной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых «Современные техника и технологии». В 3 т. Т. 2 / Томский политехнический университет. - Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 14-18 апреля 2014. - С.127-128.

12. Хайруллин Р. Р. Исследование влияния условий MOCVD-осаждения на структуру и магнитные свойства тонких пленок кобальта/ С. И. Доровских // сборник трудов Всероссийской школы-семинара с международным участием «Современное материаловедение: материалы и технологии новых поколений», Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 9-11 июня 2014. - С. 116-120.

13. Hairullin R., Dorovskikh S. The Effect of Substrate Temperature on the Structure and Magnetic Properties of Cobalt Films Deposited by CVD // «Journal of Physics: Conference Series», 2014 - в печати.

14. Dorovskikh S.I., Hairullin R. R., Panin A. V. A Cobalt(II) в-diiminate complex as a promising MOCVD precursor for magnetic cobalt film deposition // «Journal of Organometallic Chemistry», 2014 - в печати

Список использованных источников

1. Chioncel M. F. Cobalt thin films deposited by photoassisted MOCVD exhibiting inverted magnetic hysteresis / P. W. Haycock // Chemical Vapor Deposition. - 2006. - № 12. - P. 670-678.

2. Chioncel M.F. Domain structures of MOCVD cobalt thin films / H. S. Nagaraja, F. Rossignol, P. W. Haycock // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2007. - № 313. - P. 135-141.

3. Paranjape, M. A., Mane, A. U., Raychaudhuri, A. K. Metal-organic chemical vapour deposition of thin films of cobalt on different substrates: study of microstructure // Thin Solid Films. - 2002. - № 413. - P. 8-15.

4. Сыркин В. Г. CVD-метод: химическое парофазное осаждение. - М.: Наука, 2000. - 496 с.

5. Morozova, N. B.; Stabnikov, P. A.; Baidina I. A. Structure and thermal properties of volatile copper(II) complexes with в-diimine derivatives of acetylacetone and the structure of 2-(methylamino)-4-(methylimino)-pentene-2 crystals // Journal of Structural Chemistry. - 2007. - № 48. - P. 889-898.

6. Локтев Д. Методы и оборудование для нанесения износостойких покрытий / Е. Ямашкин // Наноиндустрия. - 2007. - №4. - С. 18-24.

7. Гельфонд Н. В. Физико-химические закономерности формирования наноструктурированных металлических и оксидных слоев в процессах химического осаждения из паров соединений металлов с органическими лигандами: диссертация на соискание ученой степени доктора химических наук. - Новосибирск, 2010. - 322 с.

8. Жигалов В. С. Нанокристаллические пленки кобальта, полученные в условиях сверхбыстрой конденсации / Г. И. Фролов, Л. И. Квеглис // ФТТ. - 1998. - №11. - С. 2074-2079.

9. Маклаков С. С. Микроволновые и структурные особенности тонких магнитных плёнок на основе Co и Fe70Co30, получаемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук. - Москва, 2012. - 23 с.

10. В. Г. Казаков. Процессы перемагничивания и методы записи информации на магнитных пленках // Соросовский образовательный журнал. - 1997. - №11. - С. 99-106.

11. В. Г. Казаков. Тонкие магнитные пленки // Соросовский образовательный журнал. - 1997. - №1. - С. 107-114.

12. F.A. Harraz. Electrochemically deposited cobalt/platinum (Co/Pt) film into porous silicon: Structural investigation and magnetic properties / A.M. Salem, B.A. Mohamed, A. Kandil, I.A. Ibrahim // Applied Surface Science. - 2013. - № 264. - P. 391-398.

13. C.L. Shen. Thickness dependence of microstructures and magnetic properties for CoPt/Ag nanocomposite thin films / P.C. Kuo , Y.S. Li , G.P. Lin , S.L. Ou, K.T. Huang, S.C. Chen // Thin Solid Films. - 2010. - № 518. - P. 7356-7359.

14. M. Abes. Structural properties of CoPt films patterned using ion irradiation / J. Venuat, D. Muller, A. Carvalho, G. Schmerber, E. Beaurepaire, A. Dinia, V. Pierron-Bohnes // Catalysis Today. - 2006. - № 113. - P. 245-250.

15. Е.М. Артемьев. Перпендикулярная магнитная анизотропия в тонких пленках Co50Pt50, Co50Pd50 и Co50Pt50?xPdx / М.Е. Артемьев // Физика твердого тела. - 2010. - № 11. - C. 2128-2130.

16. An-Cheng Sun. Evolution of structure and magnetic properties of sputter-deposited CoPt thin films on MgO(1 1 1) substrates: Formation of the L11 phase / Fu-Te Yuan, Jen-Hwa Hsu, H.Y. Lee // Scripta Materialia. - 2009. - № 61. - P. 713-716.

17. M. Maret. Perpendicular magnetic anisotropy in CoxPt1-x alloy films / M.C. Cadeville, W. Staiger, E. Beaurepaire, R. Poinsot, A. Herr // Thin Solid Films. - 1996. - № 275. - P. 224-227.

18. Гуляев А. П., Гуляев А. А. Металловедение: учебник для вузов. - М.: ИД Альянс, 2011. - 644 с.

19. Панин А. В. Тонкие пленки и многослойные материалы для электроники: Учебное пособие. - Томск: Изд. ТПУ, 2002. - 128 с.

20. Петрова Л. Г., Потапов М. А., Чудина О. В. Электротехнические материалы: Учебное пособие / МАДИ (ГТУ). - М., 2008. - 198 с.

21. . Gangopadhyay. S. Magnetic Properties of Ultrafine Co Particles / G.C. Hadjipanayis, C.M. Sorensen, K.J. Klabunde // IEEE TRANSACTIONS ON MAGNETICS. -1992. - № 28. - P. 3174.

22. Разумов И. М. Организация, планирование и управление предприятием машиностроения. - М.: Машиностроение, 2005. - 544 с.

23. Видяев И.Г., Серикова Г.Н., Гаврикова Н.А. Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение: учебно-методическое пособие. ? Томск: Изд-во Томского политехнического университета, 2014. - 36 с.

24. Белов С.В., А.В. Ильницкая и др. Безопасность жизнедеятельности. Учебник для вузов, 1999. - 354 с.

25. Назаренко О.Б. Безопасность жизнедеятельности: учебное пособие. - Томск: Изд - во ТПУ, 2010. - 144с.

26. Белов С.В. и др. Расчеты в машиностроении по охране труда, 2001. - 428 с.

27. http://dvo.sut.ru/libr/eibzd/i131vozd/chrez.htm/21.05.2014

Размещено на Allbest.ru