Установка вакуумного напыления

Расчет адсорбера

Выбираем в качестве поглотителя активированный уголь с диаметром гранул d=3мм и средней длиной гранул l=5мм. Насыпная плотность выбираемого сорбента сн=500 кг/м3, кажущаяся плотность ск=800 кг/м3.

Для условий в адсорбере tр=200 С и Р=9.8•104 Н/м2 принимаем по воздуху сг=1.2 кг/м3 и н=0.15?10-4 м2/с.

По изотерме адсорбции и заданной величине С0 находим статическую емкость сорбента, если С=5 г/м3 по изотерме адсорбции а=170 г/кг или аI=0,170•500=85 кг/м3.

Весовое количество очищаемого газа:

объем вакуумной камеры составляет 120 литров, наибольший поток воздуха из насоса идет во время первых двух минут откачки. Таким образом, весовое количество очищаемого газа

,

где Vк - объем камеры, м3, сг - плотность воздуха, кг/м3, tо - время откачки, с.

.

Принимая коэффициент запаса К=1,15, определим массу сорбента:

,

где n-общее количество откачек.

.

Выбираем эффективную скорость паровоздушной смеси в адсорбере W=0.15 м/с и определяем геометрические размеры адсорбера для выбранной конструктивной схемы:

,

где Da - диаметр слоя адсорбента для цилиндрического аппарата, м.

Рассчитаем длину слоя адсорбента:

Прежде чем определить энергозатраты на очистку паровоздушной смеси от паров масла, найдем пористость сорбента, эквивалентный диаметр и коэффициент трения зернистого поглотителя

,

эквивалентный диаметр:

.

Число Рейнольдса:

коэффициент трения л:

.

Определяем гидравлическое сопротивление, оказываемое слоем зернистого поглотителя при прохождении через него потока очищаемого газа:

,

где ф - коэффициент формы

.

Из таблицы определяем коэффициент молекулярной диффузии паров масла в воздух при 00 С и Р=9.8•104 Н/м2 D0=0,101•10-4 м2/с:

,

Находим диффузионный критерий Прандтля:

.

Для заданного режима течения газа Re=37,3 определим величину коэффициента массопередачи в для единичной удельной поверхности:

Так как С0=5 г/м3 находится во второй области изотермы адсорбции, то время защитного действия определяем:

Предварительно определим вспомогательные величины. На основании вида изотермы адсорбции находим а?=0,180 кг/кг и а?/2=0,09 кг/кг и соответствующая этой величине поглощения концентрации паровоздушной смеси y1=2,7 г/м3, т.е. А=10/2,7=3,7.

Удельная поверхность адсорбера:

,

Зная эффективность адсорбера, определим концентрацию паров масла на выходе из насоса:

Тогда продолжительность адсорбции:

.

ф=15,4 ч, что соответствует 3 месяцам работы оборудования.

Таким образом производить десорбцию адсорбера необходимо каждые 3 месяца.

5.5 Средства вентиляции

Задачей вентиляции является обеспечение чистоты воздуха и заданных метеорологических условий в производственных помещениях. Вентиляция достигается удалением загрязненного или нагретого воздуха из помещения и подачей в него свежего воздуха.

При правильной работе установки не происходит выделения ни паров или газов, ни избыточной явной теплоты, ни влаги, т.к. установка оснащена системой водяного охлаждения, а ее технологическая камера герметична; все рабочие вещества хранятся только в герметичных баллонах и подаются в камеру только по герметичным магистралям.

Определим необходимое количество воздуха в помещении по методу кратности воздухообмена : , где к - кратность воздухообмена, час-1; V - объем помещения, м3; k = (1... 10) час-1.

Возьмем минимальный размер помещения, необходимый для размещения и эксплуатации рассматриваемой установки: .

Тогда необходимое количество воздуха в помещении будет равно:

, что больше нормативного минимального количества воздуха, которое должно приходиться на человека ;

Поэтому в данном случае при организации воздухообмена в помещении можно ограничиться естественным проветриванием.

Технологический процесс формирования многослойных покрытий в вакууме требует проведения очистки вакуумной камеры (ацетоном, этиловым спиртом и т.п.) после некоторого количества рабочих циклов.

Помещения, в которых производится очистка вакуумной камеры (ацетоном, этиловым спиртом и т.д.), должны быть оборудованы приточно-вытяжной вентиляцией. Кратность приточно-вытяжной вентиляции должна быть такой, чтобы значения концентрации вредных паров в воздухе рабочей зоны не превышали допустимых значений по требованиям ГОСТ 12.1.005-76.

В том случае, если вытяжная вентиляция временно не функционирует (установка или замена, ремонт), разрешается, при очистке вакуумной камеры, использовать фильтрующий противогазовый респиратор РПГ-67А (ГОСТ 12.4.004-74*), который защищает от паров органических веществ (бензина, ацетона, спиртов, эфиров, бензола и др.). При этом концентрация вредных веществ не должна превышать предельно допустимую концентрацию (ПДК) в 10...15 раз, а время работы не должно быть больше 6 часов [4.1].

Количество удаляемого воздуха определим по формуле :

,

где qВЫТ - концентрация вредного вещества в удаляемом воздухе, мг/м3;

G - количество выделяющегося вредного вещества, мг/час.

С другой стороны:

,

где FО - площадь вытяжного проема, м2;

v - скорость воздуха в проеме, м/с.

Тогда

Причем, концентрация вредного вещества в удаляемом воздухе не должна превышать предельно допустимую концентрацию вредного вещества qПДК в воздухе рабочей зоны, т.е. . Так, для ацетона , для этилового спирта [4.1]. Для расчетов принимаем .

При очистке камеры выделяется ацетона.

Необходимо обеспечить : ; то есть ;

Принимаем FO = 0,2 м2; v = 0,5 м/с;

Тогда, количество удаляемого воздуха равно:

,

а концентрация вредного вещества в удаляемом воздухе не превышает предельно допустимую:

;

Очистку удаляемого воздуха целесообразно проводить методом адсорбции. Метод адсорбции основан на физических свойствах некоторых твердых тел (c ультрамикроскопической структурой) селективно извлекать и концентрировать на своей поверхности отдельные компоненты газовой смеси. Конструктивно адсорберы выполняются в виде емкостей, заполненных пористым адсорбентом. В качестве адсорбентов применяют вещества, имеющие большую площадь поверхности на единицу массы. Это активированный уголь, активированный глинозем, силикагель, активированный оксид алюминия, синтетические цеолиты. Для очистки воздуха от паров ацетона будем использовать активированный уголь, удельная поверхность которого достигает .

Минимально необходимая масса сорбента определяется следующим образом :

,

где LY - объемный расход очищаемого газа, м3/с;

СО - концентрация удаляемой примеси, мг/м3;

- время процесса адсорбции, ;

КЗ - коэффициент запаса, КЗ = 1,1...1,2;

a - статическая поглотительная способность адсорбента в рабочих условиях, (по изотерме адсорбции для 20 оС и парциального давления адсорбируемого вещества у поверхности адсорбера 100 Па) [4.2];

;

Принимаем: .

Заключение

В данном разделе были проанализированы установка и технологический процесс формирования многослойных покрытий в вакууме. Результаты анализа свидетельствуют, что установка в целом достаточно экологична и безопасна, но существуют некоторые вредные факторы, связанные с ее эксплуатацией и обслуживанием (шум, вибрации). Опасность могут представлять также электропитание установки, рабочие газы, используемые в технологических процессах и др. Были проведены необходимые расчеты и выработаны рекомендации по обеспечению безопасной работы с данной установкой, не приносящей вреда окружающей среде.

6. Исследовательская часть

В настоящее время во многих областях науки и техники возрос интерес к многослойным покрытиям с толщиной слоев менее 1 мкм, а также произошло расширение области их применения. Это обусловлено возможностью значительной модификации или даже принципиального изменения свойств известных материалов, а также новыми возможностями создания материалов и изделий из структурных элементов нанометрового размера.

6.1 Оценка полученного тонкопленочного покрытия

6.1.1 Контроль износа

Одним из критериев для оценки качества нанесенных на поверхности тонких пленок является их способность противостоять изнашивающему воздействию. Причем, в результате такого воздействия на тонкопленочные покрытия могут наблюдаться следующие эффекты: износ, протекающий по различным механизмам, и отслаивание пленки от поверхности. Поэтому понятие износ для тонкопленочных покрытий подразумевает разрушения различной природы, возникающие при фрикционном воздействии.

В настоящее время существует несколько способов контроля процесса износа, соответствующих стандартам различных организаций. Те из них, которые пригодны для исследования разрушения тонкопленочных покрытий, можно классифицировать:

в соответствии со способами изнашивающего воздействия на испытуемую поверхность (абразивное, адгезионное, коррозионно-механическое, эрозионное);

в соответствии с механизмом, по которому проистекает износ;

по контролируемым параметрам, таким как: внешний вид области износа; сила (момент) и коэффициент трения; продукты изнашивания, отделяющиеся от испытуемых поверхностей; акустическая эмиссия; скорость износа; профиль испытуемой поверхности; инфракрасное излучение.

В данной работе исследование износа будет осуществляться способом, заключающимся в воздействии на испытуемый образец вращающимся валиком, улавливании и дифференцированном по размерам подсчете частиц износа в реальном масштабе времени. Для реализации указанного метода используется устройство (рис. 6.1), использующее лазерный счетчик частиц c минимальным размером регистрируемых частиц d, большим 0,3 мкм.

Рис. 6.1 Устройство контроля разрушения тонких пленок: 1 - подложка с тонкопленочным покрытием, 2 - счетчик частиц, 3 - продукты износа.

Устройство контроля износа состоит из следующих основных частей (рис. 6.2):



Рис. 6.2

камеры анализа, в которую устанавливается исследуемый образец, приводящегося во вращение контртела, к которому поджимается образец (механизм прижатия и перемещения изображен на рис. 6.3);

счетчика частиц, соединенного с камерой анализа, в который попадают продукты износа.

Рис. 6. 3 - образец;2 - контртело;3 - оправка;4 - гибкий элемент (пружина);5 - нагружающий винт;6 - гайка;7 - подвижный столик.

Счетчик ПК.ГТА-0,3-002 состоит из трех функциональных частей: оптической системы, пневматической системы и электрических блоков. Пневматическая система обеспечивает забор анализируемого газа через штуцер "вход аэрозоля" на верхней панели счетчика и подачу его в рабочий объем оптического датчика. Оптическая с. 4) является главной и определяет основные характеристики счетчика. Свет от источника 1 фокусируется в луч диаметром 1 мм, перпендикулярно которому подается струя анализируемого газа диаметром 0,9 мм, пересечение этих лучей образует рабочий объем. Попавшая в него аэрозольная частица 2 дает импульс рассеянного света, который воспринимается фотокатодом 4 фотоэлектронного умножителя. Падающий луч улавливается световой ловушкой 3. Электрические блоки служат для разделения по амплитуде и подсчета электрических импульсов поступающих от фотоумножителя. В счетчике осуществляется интегральный счет частиц, т.е. подсчитываются все частицы, размер которых равен или больше величины, установленной на переключателе каналов.

Рис. 6.4 Оптическая система счетчика. 1 - источник света, 2 - аэрозольная частица, 3 - световая ловушка, 4 - ФЭУ.

Результаты исследований



Рис.6.5 Результаты исследования тонкопленочного покрытия на износ

Выводы: Данный метод оценки позволяет судить о механизме разрушения пленки. Соотношение количества частиц различного размера указывает на то, обусловлено ли разрушение производством выдавленных царапин, микрорезанием, передеформированием или плохой адгезией. Анализируя полученные результаты можно сказать, что механизм разрушения обусловлен в основном микрорезанием, а не плохой адгезией

6.1.2. Исследование адгезии по методу сетчатых надрезов

Данная модель адгезиметра предназначена для быстрой оценки качества связи между покрытием и подложкой, которое определяется обычно на плоских испытательных пластинах.

Основные характеристики:

Низкая себестоимость испытания;

Надежная конструкция;

Удобство в обращении, благодаря большой рукоятке с противоскользящим покрытием;

Простота замены лезвий.

Может использоваться в соответствии с:

ASTM D 3359-B, ASTM D 3002, BS 3900-E, BS EN ISO 2409, DIN 53151, ISO 2409, NF T 30-038



Рис.6.6 Образец подготовленный для оценки качества связи между покрытием и подложкой: a) до испытаний; б) после испытаний;

Вывод: Исходя из полученных результатов (см.рис 6.6 ) очевидно, что края насечек полностью гладкие и ни один из квадратов сетки не отклеен, что соответствует «0» классу по ISO и «5B» по ASTM стандарту.

Таблица 6.1

Классификация результатов теста с помощью поперечных насечек
Описание	Поверхность	BS/ISO/DIN	ASTM
Края насечек полностью гладкие и ни один из квадратов сетки не отклеен	нет	0	5В
Отделение небольших чешуек покрытия на точках пересечения насечек. Отставание покрытия на участке с поперечными насечками не превышает 5%.		1	4В
Покрытие отслоилось по краям и/или на точках пересечения насечек. Отставание покрытия на участке с поперечными насечками значительно превышает 5%, но не больше 5%		2	3В
Покрытие частично или полностью отслоилось большими кусками по краям насечек и/или частично или полностью отслоилось на различных частях квадратов. Отставание покрытия на участке с поперечными насечками значительно превышает 15%, но не больше 35%		3	2В
Покрытие отслоилось большими кусками по краям насечек и/или некоторые квадраты частично или полностью отклеились. Отставание покрытия на участке с поперечными насечками значительно превышает 35%, но не больше 65%		4	1В
Любая степень отслоения, которая не может быть классифицирована по классу 4/1B		5	0В

6.1.3 Исследование равномерности нанесенного покрытия

Одним из важнейших параметров пленки является ее геометрическая толщина h. Свойства пленки в зависимости от геометрической толщины изменяются нелинейно, и, как это показано на примере пленок углерода, геометрическая толщина не полно характеризует состояние вещества пленки. Объясняется это тем, что пленки из одного и того же материала при одной и той же геометрической толщине могут иметь разные морфологию, структуру и фазовый состав. Конкретный вид связей, реализующихся в процессе кристаллизации, определяется; энергией, запасенной в пленочной структуре. Следовательно, свойства пленки зависят не только от количества (потока ассы) атомов исходного материала, сконденсировавшихся на подложке, но и от количества энергии (потока энергии), поступающего на поверхность конденсации в процессе формирования пленки.

Распределение конденсата на подвижной подложке, перемещающейся по приемной поверхности Q(CDH) = 0 с угловой скоростью со относительно произвольной оси при поверхности испарения произвольной формы G{XYZ) ~ 0, обусловливается потоком испаряемого вещества переменной интенсивности (обозначения даны в соответствии с рис. 2.6.42)

,

где

I-суммарная величина функции потока вещества, прошедшего за время t1 через точку, перемещающуюся по поверхности в соответствии с законом С=f1(wt), D=f2 (wt), Q(CDH)=0, где C,D,H- текущие координаты точки Р;

S(X,Y)-уравнение замкнутой кривой, ограничивающей проекцию на плоскость поверхности испарения G(XYZ)=0;

,

где

X,Y,Z - текущие координаты точки испарения, лежащей на поверхности G(XYZ)=0;

t- время проведения процесса (текущие координата);

t1 -время осаждения для конкретного изделия;

Z(XY)- уравнение поверхности G(XYZ)=0, решенное относительно Z=f(XY);

частные производные уравнения Z=f(XY);

Рис.6.7 Схема технологического пространства оборудования для осаждения тонких пленок



Рис. 6.8

Для измерения неравномерности нанесенного покрытия, необходимо подготовить образцы (см.рис.6.8)

Измерение толщины нанесенного покрытия проводили с помощью микроскопа МИИ-4. результаты замеров приведены далее

Расчет толщины будем проводить по формуле:

H=k(A/B), где k=0.27 коэффициент для белого света

Таблица 6.2

Номер образца	A	B	H, мкм
1	255	18	3,82
2	167	20	2,25
3	66	7	2,54
4	260	16	4,38

Выводы: Полученные толщины пленки превосходят предполагаемые значения, это можно объяснить следующим, для получения границы «пленка-подложка» приходится вырывать область пленка с помощью приклеенного упора, а следовательно, возможны наличия неравномерного слоя избыточного клея, как на подложке, так и на пленки. В результате чего, измеренные значения толщины пленки включает в себя как толщину пленки,так и толщину клея. Для более точного определения необходимо использовать альтернативные способы измерения толщины пленки.

6.1.4 Определения прочности адгезии

Elcometer 106

Установка для определения прочности адгезии Elcometer 106 предназначена для измерения прочности связи наносимых покрытий. С ее помощью может быть проверено много различных покрытий, включая краску, пластик, нанесенный распылением металл, эпоксидную смолу, деревянные шпоны, слоистое дерево, металл и пластик.

Прибор использует метод фиксации для измерения подъемной силы, требуемой для того, чтобы выхватить небольшой участок покрытия из основного материала. При испытании к покрытию при помощи адгезива прикрепляется упор. После затвердевания покрытие можно прорубить и захват прибора приводится в действие. Прикладывается сила, которая записывается при помощи индикатора на выгравированной шкале. Индикатор сохраняет значение, пока упор и покрытие отделяются от поверхности, и переустанавливает его перед следующим испытанием.

Рис. 6.9 Elcometer 106



Рис. 6.10 Подготовленный образец

После проведения эксперимента установили, что сила необходимая для отрыва пленки составляет:

F=0.95 Мра(Н/мм2)=0.95ib/in2 х 100

Выводы: Исследуемый образец показал прочную связь наносимого покрытия и подложки.

6.1.5 Исследование параметров пленки спектрофотометром

Акустооптический спектрофотометр AOS-4SL

Основным назначением спектрофотометра AOS-4SL является измерение спектральной зависимости коэффициентов отражения и пропускания диэлектрических покрытий, нанесенных на плоские поверхности оптических деталей.

Спектрофотометр позволяет измерять в поляризованном и неполяризованном свете коэффициент отражения в условиях, близких к нормальному падению света (угол 7,5о), а коэффициент пропускания - в диапазоне углов падения 0…70о).

В спектрофотометре используется процедура относительных измерений. Требуемый коэффициент определяется как отношение двух световых сигналов: отраженного (пропущенного) деталью, для которой измеряется коэффициент отражения (пропускания), и эталонной деталью (именуемой далее эталоном), для которой соответствующий коэффициент считается известным.

Акустооптический спектрофотометр AOS-4SL состоит из:

- оптического блока (ОБ), включающего в себя источник света, акустооптический монохроматор, держатели измеряемых деталей и приемник излучения;

- блока управления и регистрации (БУР), который вырабатывает высокочастотное (ВЧ) напряжение для управления перестройкой длины волны и стабилизированное напряжение для питания лампы источника света, осуществляет первичную обработку регистрируемого сигнала, а также обеспечивает связь с управляющей ПЭВМ.

Структурная схема спектрофотометра представлена на рис.14.

Неотъемлемой частью спектрофотометра является программное обеспечение (ПО) для ПЭВМ, с помощью которого задается режим работы спектрофотометра, осуществляется управление перестройкой длины волны, обработка регистрируемого сигнала, а также представление результатов измерения на экране монитора и их запись на магнитный носитель.

Оптический блок

Оптический блок функционально состоит из источника света, двухканального акустооптического монохроматора, держателей деталей для измерения коэффициентов отражения и пропускания, а так же фотоприемного устройства, включающего в себя приемники излучения и электронный предусилитель (рис.6.11). Конструктивно эти функциональные узлы размещены на общем основании под тремя съемными крышками. Для обеспечения оперативной установки деталей при проведении измерений в крышке над держателем R расположено отверстие, а средняя крышка имеет откидную секцию над держателем T. Оптическая схема ОБ представлена на рис.6.12

Рис.6.11 Структурная схема акустооптического спектрофотометра AOS-4SL (АОФ - акустооптические фильтры; R,T - держатели для установки деталей при измерении коэффициента отражения и пропускания соответственно).

Рис.6.12 Оптическая схема оптического блока (см. текст)

Источник света включает в себя галогенную лампу (1), конденсоры для двух каналов акустооптического монохроматора (2) и (7), а также поворотное зеркало (8).

Акустооптический монохроматор, служащий для получения излучения в узком спектральном диапазоне, включает в себя два акустооптических фильтра (АОФ), работающих в диапазонах 370-720 нм и 720-1175 нм (“синий” и “красный” каналы соответственно).

В основе работы акустооптического спектрофотометра лежит взаимодействие света с ультразвуковой волной при ее распространении в кристалле, обладающим двулучепреломлением. Кристаллический звукопровод, помещенный между двумя скрещенными поляризаторами, как показано на рис. 15, образует акустооптический фильтр (АОФ). В отсутствие звука, линейно поляризованный свет, сформированный входным поляризатором, проходит через звукопровод без изменений и не пропускается выходным поляризатором. Если в кристалле распространяется звук с частотой f, то свет с некоторой длиной волны меняет свою поляризацию благодаря дифракции на звуковой волне и проходит через выходной поляризатор. Связь между величинами f и определяется условием синхронизма:

=v·dn/f,

где v - скорость звука в кристалле, dn - двулучепреломление кристалла. Полоса пропускания (спектральное разрешение) АОФ приближенно определяется выражением:

d = 2/(Ldn),

где L - длина звукопровода.



- направление поляризации света в плоскости чертежа;

- направление поляризации света перпендикулярно плоскости чертежа.

Рис. 6.13 Акустооптический фильтр (принцип действия)

Возбуждение ультразвуковых колебаний осуществляется с помощью прикрепленных к звукопроводам пьезопреобразователей, к которым прикладывается высокочастотное напряжение (ВЧ-сигнал). Перестройка длины волны пропускания АОФ осуществляется изменением частоты ВЧ-сигнала. Характерная кривая, связывающая частоту ВЧ-сигнала с длиной волны, приведена на рис 6.14

Рис.6.14 Зависимость частоты ВЧ-сигнала от длины волны пропускания АОФ.

Снятие значения коэффициентов отражения будем проводить для трех близко расположенных точек, с внешней рис.6.16 и внутренней сторон пленки рис.6.17

Рис.6.16 Коэффициент отражения для внутренней строны плеки

Рис.6.17 Коэффициент отражения для наружней строны плеки



370-455 нм - Фиолетовый

455-490нм - Сине-голубой

490-570нм - Зеленый

570-600нм - Желтый

600-630нм - Оранжевый

630-720нм - Красный

Рис. 6.18 Распределение цветов по длинам волн

Рассчитаем толщину напыленной пленки на подобии расчет для опала:

Рис. 6.19 Расчетная схема

- разность хода;

- длина волны

Искомая толщина пленки:

Так, как коэффициент преломления оксида титана n=2.4, а угол падения света =7 град.

Тогда:

где m=1,2,3- коэффициент интерференции

Толщина пленки, мкм	m	Цвет пленки
0,347 0,427 0,460 0,535 0,591	5	Фиолетовый Сине-голубой Зеленый Желтый Красный
0,424 0,522 0,562 0,654 0,688 0,723	6	Фиолетовый Сине-голубой Зеленый Желтый Оранжевый Красный

Выводы: Коэффициент отражения исследуемой пленки достигает своего экстремума при длинах волн соответствующих синей составляющей видимого света, следовательно, максимальное отражение от «забрала» для синей составляющей. А для красного цвета коэфф. минимален. Из приведенной таблицы можно сделать вывод, что расчетная толщина пленки d=0.4 мкм, цвет пленки (Фиолетовый- Сине-Голубой).

Список использованной литературы

1. Ганенко А.П., Милованов Ю.В., «Оформление текстовых и графических материалов»,М. «Academa»,2002г.

2. Дунаев П.Ф., Леликов О.П. “Конструирование узлов и деталей машин”. М.: «Высшая школа», 2000г.

3. Решетов Д.Н., “Детали машин. Атлас конструкций в двух частях”, М.: «Машиностроение», 1992г.

4. А.А. Чекмарёв, В.К.Осипов, «Справочник по машиностроительному черчению», Высшая школа, 2000 г.

5. А.Е. Шейнблит «Курсовое проектирование деталей машин», Янтарный сказ, 2004 г.

6. Одинцова Л.А., «Методические указания по выполнению организационно-экономической части дипломных проектов (специальности кафедр МТ1, 2, 3, 11)», М:, Издательство МГТУ имени Н.Э. Баумана

7. Косиловой А.Г., «Справочник технолога-машиностроителя»Том1,Том2.М. «МАШИНОСТРОЕНИЕ» 1986

8. Методическое пособие к курсовому и дипломному проектированию «РАСЧЕТ РЕЖИМОВ РЕЗАНИЯ ПРИ МЕХАНИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКЕ МЕТАЛЛОВИ СПЛАВОВ» Дальневосточная государственная академия путей сообщения.

9. Б. Е. Алгинин--Кружок электронной автоматики--Москва, Просвещение, 1990.

10. А. Евсеев--Полезные схемы для радиолюбителей--'Солон-P', Москва, 1999.

11. www.prosoft.ru

12. www.chip-dip.ru

13. www. Elticon.ru

14. Бектобеков Г.В., Борисова Н.Н, Коротков В.И и др.М. «Справочная книга по охране труда в машиностроении».1989 г.

15. Белов С.В., Козяков А.С. «Средства защиты в машиностроении. Справочник».

16. Белов С.В, Бринза В.Н.. «Безопасность производственных процессов».

17. Белов С.В.,. Барбинов Ф.А,. Козьяков А.Ф «Охрана окружающей среды. Учебник для технических специальных ВУЗов».1991 г.