Классификация физико-химических методов обработки и очистки. Плазменные методы удаления материала с поверхности твердого тела

Сущность и классификация методов обработки поверхности. Методы сухой очистки. Процесс плазмохимического травления. Схема вакуумной камеры диодного типа для плазмохимического травления непосредственно в плазме. Очистка поверхности газовым травлением.

Рубрика Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника
Вид реферат
Язык русский
Дата добавления 15.01.2009
Размер файла 536,7 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Преимущества диодов Шоттки по сравнению с обычными p-n-переходами. Основные стадии формирования структуры кремниевого диода. Классификация типов обработки поверхности полупроводниковых пластин. Особенности жидкостного травления функциональных слоев.

    реферат [237,4 K], добавлен 20.12.2013

  • Классификация методов исследования наноструктур. Устройство СЗМ Solver HV. СЗМ измерительная система, элементы. Система термостатирования образца. Экспериментальное исследование режимов работы АСМ Solver HV для изучения наноструктурированной поверхности.

    курсовая работа [3,0 M], добавлен 12.06.2012

  • Стадии производства микросхем. Электрический ток в полупроводнике. Структура элемента микросхемы ЭВМ. Изготовление кремниевых пластин. Контроль загрязнений и дефектности подложек. Контроль поверхности и слоев. Процессы травления в газовой среде.

    презентация [1,2 M], добавлен 24.05.2014

  • Внешняя и внутренняя форма деталей радиоаппаратов и автоматических устройств. Общие сведения о поверхностях и их развертки. Сочетание гранных и кривых поверхностей. Линейчатые и нелинейчатые поверхности вращения. Поверхности с плоскостью параллелизма.

    реферат [299,4 K], добавлен 24.12.2010

  • Механика и принципы методов исследования поверхности твердого тела: вторичная электронная эмиссия; масс-спектрометрия. Принципы работы растрового электронного микроскопа. Разработка алгоритма расчетов секторных магнитов с однородным магнитным полем.

    дипломная работа [7,6 M], добавлен 22.02.2012

  • Понятие и функциональные особенности радиолокационных станций, их классификация и разновидности в сфере обзора земной поверхности. Принцип работы, структура и основные элементы данных станций, структурные схемы. Прием и передача информации потребителю.

    реферат [614,4 K], добавлен 24.12.2012

  • Интроскопия - внутривидение, визуальное наблюдение объектов, явлений и процессов в оптически непрозрачных телах и средах, в условиях плохой видимости. Классификация методов диагностики. Общность методов и средств обработки иитроскопических изображений.

    реферат [265,7 K], добавлен 01.02.2009

  • Заготовки оптических деталей из оптического стекла. Глубина залегания дефектов на поверхности прессованной заготовки. Процесс обработки оптических деталей. Шлифование свободным абразивом. Шлифование закрепленным абразивом. Полирование. Припуски операционн

    реферат [1,2 M], добавлен 29.11.2008

  • Радиолокационные станции с большими вдольфюзеляжными антеннами. Их недостатки, устраняемые путем использования принципа синтезирования сигналов. Многозначность выходного сигнала с синтезированным раскрывом при импульсной работе. Цифровые методы обработки.

    реферат [795,1 K], добавлен 13.10.2013

  • Схема блока радиоэлектронного средства (РЭС) в герметичном исполнении. Расчет поверхности, удельной мощности, перегрева и температуры корпуса блока. Сущность и классификация систем охлаждения РЭС. Интенсивность теплопередачи различных способов охлаждения.

    презентация [428,1 K], добавлен 27.12.2013

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.