Основные виды и причины брака при нанесении слоя фоторезиста
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | реферат |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 06.01.2009 |
| Размер файла | 470,4 K |
Соглашение об использовании материалов сайта
Просим использовать работы, опубликованные на сайте, исключительно в личных целях. Публикация материалов на других сайтах запрещена.
Данная работа (и все другие) доступна для скачивания совершенно бесплатно. Мысленно можете поблагодарить ее автора и коллектив сайта.
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.
дипломная работа [4,8 M], добавлен 08.07.2014Оборудование для нанесения фоторезиста методом центрифугирования. Оборудование для разделения подложек на кристаллы – лазерное скрайбирование, защита объектива от продуктов испарения. Резка стальными полотнами и дисками, лазерное разделение пластин.
контрольная работа [304,0 K], добавлен 03.10.2009Основные параметры фоторезистов - светочувствительность, разрешающая способность, кислотостойкость, адгезия к подложке и технологичность. Понятие светочувствительности. Светочувствительность негативных фоторезистов. Пороговая светочувствительность.
реферат [660,2 K], добавлен 06.01.2009Сущность проблемы по дефекту "внутренняя плена". Сортамент продукции трубопрокатного цеха. Механические свойства и технологический процесс производства бесшовных труб. Виды брака при производстве гильзы. Подогрев труб в печи с шагающими балками.
дипломная работа [764,1 K], добавлен 12.12.2013Расчет надежности операции или процента брака. Построение эмпирической кривой. Методика определения разности между наибольшим и наименьшим размерами, которая разбивается на несколько интервалов. Теоретическая кривая распределения результатов замера.
контрольная работа [317,1 K], добавлен 08.03.2012Технология выплавки сплава и работа оборудования. Выбор шихты для выплавки и огнеупорных материалов. Контроль качества продукции. Тепловой расчет печи, баланс плавки. Возможные виды брака, основные методы борьбы с браком, способы устранения брака.
дипломная работа [698,8 K], добавлен 14.06.2015Установление соответствия брака для формообразующих операций сравнением заданного чертежного размера детали с ожидаемым значением технологического размера. Определение вероятности брака с помощью законов нормального распределения и равной вероятности.
лабораторная работа [99,9 K], добавлен 07.06.2012Порядок рассмотрения, принятия, внесения и отмены технических регламентов. Шаги оптимизации улучшения качества продукции и снижения брака. Основные этапы построения диаграммы Парето. Особенности проведения анализа по группам брака ("АВС-анализ").
контрольная работа [56,8 K], добавлен 07.02.2010Изучение технологического процесса производства полипропиленовых труб методом экструзии. Контроль процесса по стадиям. Виды брака, пути его предотвращения. Материальный баланс производства. Расчет и выбор основного и вспомогательного оборудования.
дипломная работа [1,0 M], добавлен 08.09.2015Проблема минимизации брака деталей по чертежным размерам в условиях несовмещения конструкторских и технологических баз при нарушении условия наименьшей погрешности и правила единой установочной базы. Определение вероятности брака для заданных размеров.
лабораторная работа [142,1 K], добавлен 07.06.2012
