Лабораторная работа "УФ микролитография"

Разработка электронного учебно-методического комплекса по использованию различных методов фотолитографии для производства широкого спектра электронных приборов. Расчет значения погрешности ухода размеров элементов схем при применении приемов литографии.

Рубрика Педагогика
Вид дипломная работа
Язык русский
Дата добавления 13.05.2011
Размер файла 241,9 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.

В данном проекте НМВ=15 машино-часов [18], цена машинного времени ЦМ=3000 руб. Отсюда

руб.

Расходы по статье «Научные командировки» (РНкi) на конкретное ПС определяются по нормативу, разрабатываемому в целом по научной организации, в процентах к основной заработной плате:

(4.13)

где НРНК - норматив расходов на командировки в целом по научной организации (принимаем НРНК = 30 %).

Тогда

руб.

Расходы по статье «Прочие затраты» (ПЗi) на конкретное ПС включают затраты на приобретение и подготовку специальной научно-технической информации и специальной литературы и определяются по нормативу, разрабатываемому в целом по научной организации, в процентах к основной заработной плате:

(4.14)

где НПЗ = 20 %- норматив прочих затрат в целом по научной организации.

руб.

Затраты по статье «Накладные расходы» (РНi), связанные с необходимостью содержания аппарата управления, вспомогательных хозяйств и опытных (экспериментальных) производств, а также с расходами на общехозяйственные нужды (РНi), относятся на конкретное ПС по нормативу (НРН) в процентном отношении к основной заработной плате исполнителей. Норматив устанавливается в целом по научной организации:

(4.15)

где РНi - накладные расходы на конкретную ПС (руб.);

НРН = 100%- норматив накладных расходов в целом по научной организации.

руб.

Общая сумма расходов по всем статьям сметы (СРi) на ПС рассчитывается по формуле:

. (4.16)

Рентабельность и прибыль по создаваемому ПС определяются исходя из результатов анализа рыночных условий, переговоров с заказчиком (потребителем) и согласования с ним отпускной цены, включающей дополнительно налог на добавленную стоимость и отчисления на содержание ведомственного жилого фонда. Прибыль рассчитывается по формуле:

(4.17)

где Ппсi - прибыль от реализации ПС заказчику (тыс. руб.);

УРпi - уровень рентабельности ПС (принимается 30 %);

СПi - себестоимость ПС (тыс. руб.).

руб.

Прогнозируемая цена ПС без налогов (Цпi):

. (4.18)

руб.

Целевой сбор (Омрi):

, (4.19)

где Нмр =3% - норматив отчислений в местный и республиканский бюджеты.

руб.

Налог на добавленную стоимость (НДСi):

, (4.20)

где Ндс - норматив НДС (%).

Прогнозируемая отпускная цена (Цоi):

. (4.21)

руб.

руб.

Таблица 4.2

Смета затрат и цена ПС

№ пп

Наименование статей

Условные обозначения

Норматив

Рассчитанное значение, рублей

1.

Материалы и комплектующие

Мi

56073

2.

Основная заработная плата исполнителей

Зоi

1869120

3.

Дополнительная заработная плата исполнителей

Здi

Нд=20%

373824

4.

Отчисления в фонд социальной защиты населения

Зсзi

Ноз=35%

785030

5.

Спецоборудование

Рci

55000

6.

Машинное время

Рmi

1890000

7.

Расходы на научные командировки

Рнki

Нрнк=30%

560736

8.

Прочие прямые расходы

Пзi

Нпз=20%

373824

9.

Накладные расходы

Рнi

Нрн=100%

1869120

10.

Полная себестоимость

Спi

7832727

11.

Прогнозируемая прибыль

Ппсi

Урнi=30%

2349818

12.

Прогнозируемая цена без налогов

Цпi

10182545

13.

Целевой сбор

Омрi

Нмр=3%

314924

14.

НДС

НДСi

НДС=18%

1889544

15.

Прогнозируемая отпускная цена

Цоi

12387013

16.

Ставка 1-го разряда

Тм1=65000

Вывод: Смета затрат и цена ПС приведена в таблице 4.2. При этом:

Полная себестоимость ПС составляет Спi = 7832727 руб.,

Прогнозируемая прибыль от реализации ПС Ппсi =2349818 руб.,

Прогнозируемая отпускная цена Цоi = 12387013 руб.

Следует подчеркнуть, что у программных продуктов практически отсутствует процесс физического старения и износа. Для них основные затраты приходятся на разработку образца, тогда как процесс тиражирования представляет собой, обычно, сравнительно несложную и недорогую процедуру копирования магнитных носителей и сопровождающей документации. Таким образом, этот товар не обладает, по сути, рыночной стоимостью, формируемой на базе общественно необходимых затрат труда.

АКТ ВНЕДРЕНИЯ

В учебный процесс результатов дипломного проекта, выполненного Дюльдей А.Л. на тему «Лабораторная работа «УФ микролитография» под руководством доцента кафедры МНЭ Родионова Ю. А.

Мы, нижеподписавшиеся, начальник учебного отдела Сиротко И.И., зам. зав. кафедрой микро- и наноэлектроники Колосницын Б.С. и декан ФРЭ В.И. Пачинин составили настоящий АКТ ВНЕДРЕНИЯ в учебный процесс результатов дипломного проекта Дюльди А.Л. на тему «Лабораторная работа «УФ микролитография».

Основные результаты:

- теоретическая часть описывающая основные виды процессов литографии;

- комплект заданий расчета значения погрешности ухода размеров элементов схем при использовании различных методов литографии;

- базовые технологические операции (видеоролик);

- контрольные вопросы проверки степени усвоения материала.

Указанные результаты внедрены в учебный процесс в 2007/2008 учебном году на кафедре микро- и наноэлектроники в качестве лабораторных работы для студентов 3 курса специальности Т-41-01-02 «Микро- и наноэлектронные технологии и системы» и предназначены для использования в учебном процессе в рамках дисциплины «Базовые технологические процессы в микроэлектронике».

Учебно-воспитательный эффект заключается в повышении эффективности усвоения учебного материала с использованием компьютерных обучающих программ и современных средств информационных технологий.

Зам. зав. каф. МНЭ Б.С. Колосницын

Начальник учебного отдела И.И. Сиротко

Декан ФРЭ В.И. Пачинин

ЗАКЛЮЧЕНИЕ

С учетом специфики преподавания курса «Базовые технологические процессы в микроэлектронике» на третьем курсе, когда студенты еще не овладели рядом специальных дисциплин, данная лабораторная работа, освещающая основные принципы традиционной фотолитографии (контактной и проекционной), рентгеновской и электронной, позволяет дать наиболее полные и понятные сведения об этих технологических процессах. Так же здесь приводится упрощенная методика расчета значения погрешности ухода размера элементов схем при использовании различных методов литографии. Полученные знания студенты могут проверить и закрепить с помощью контрольных вопросов.

Результаты работы внедрены в учебный процесс (акт прилагается) и докладывались на конференциях БГУИР 2007 и МГВРК 2007 (тезисы опубликованы).

ЛИТЕРАТУРА

1. ГОСТ 12.1.003-83 ССБТ, Шум. Общие требования безопасности. М.: Издательство стандартов. 1991.

2. ГОСТ 12.1.005-88 ССБТ, Общие санитарно-гигиенические требования к воздуху рабочей зоны. М.: Издательство стандартов. 1991.

3. ГОСТ 12.2.049-80 ССБТ, Оборудование производственное. Общие эргономические требования. М.: Издательство стандартов. 1983.

4. ГОСТ 6825-91, Лампы люминисцентные-трубочные для общего освещения. Издательство стандартов. 1992.

5. ГОСТ 21889-76, Кресло человека оператора. Общие эргономические требования. М.: Издательство стандартов. 1993.

6. ГОСТ Р 50923-96, Дисплеи. Рабочее место оператора. Общие эргономические требования и требования к производственной среде. - М.: Издательство стандартов. 1996.

7. ГОСТ Р 50948-96, Средства отображения информации индивидуального пользования. Общие эргономические требования и требования к производственной среде. - М.: Издательство стандартов.1996.

8. Сборник официальных материалов по охране труда. - М.: НПО ОБТ, 1995.

9. Система стандартов безопасности труда. - М.: Издательство стандартов, 1989.

10. Аваев Н.А., Наумов Ю.Е., Фролкин В.Т. Основы микроэлектроники. - М.: Радио и связь, 1991.

11. Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микроэлектроники. - М.: Мир, 1985.

12. Готра З.Ю. Технология микроэлектронных устройств. Справочник. - М.: Радио и связь, 1991.

13. Малер Р., Кейминс Т. Элементы ИМС. - М.: Мир, 1989.

14. Малышева Н.А. Технология производства интегральных микросхем. - М.: Радио и связь, 1991.

15. Павлов С.П. Охрана труда в радио и электронной промышленности. - М.: Радио и связь, 1991.

16. Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы. - М.: Радио и связь, 1988.

17. Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров. - М.: Радио и связь, 1987.

18. Носенко А.А., Грицай А.В. Технико-экономическое обоснование дипломного проекта. - Мн: БГУИР, 2002.

Размещено на Allbest.ru


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.