Современное состояние исследований в области функциональных конденсационных покрытий высокой проводимости

В этой связи в рамках настоящего исследования нами были поставлены следующие задачи:

- теоретически проанализировать закономерности испарения и конденсации тройных металлических систем;

- разработать методики изучения и оценки изменения электропараметров конденсатов при различных внешних воздействиях;

- изучить закономерности физико-химического поведения конденсированных структур в некоторых жидких средах, определить и табулировать основные параметры процесса электрохимической коррозии как функции состава конденсата;

- изучить изменение электропараметров пленок в модельных и реальных условиях эксплуатации;

- разработать методику оптимизации состава конденсата по различным критериям.

Решение этих задач отражено в пункте 2.5 настоящей работы.

Выводы

1. Анализ экспериментальных и теоретических исследований в области техники получения функциональных покрытий показывает, что ряд сплавов на основе меди могут быть успешно применены в некоторых изделиях электронной техники взамен аналогичных исполнительных элементов из благородных металлов.

2. Существующие методы теоретического анализа закономерностей испарения и конденсации многокомпонентных систем в вакууме (испарение конечных навесок, стационарный режим испарения, взрывное испарение и т.д.) разработаны, как правило, для двухкомпонентных систем. В этой связи, поставлена задача, разработать методику полуколичественного анализа закономерностей формирования покрытий с числом компонентов более двух.

3. Обзор научной и научно-практической литературы показал, что данные о физико-химических свойствах конденсированных структур и их взаимосвязи с основными эксплуатационными параметрами в литературе практически отсутствуют; это затрудняет выбор и оптимизацию технологических параметров нанесения конденсированных структур с заданными свойствами. Поставлена задача на основании комплексных физико-химических исследований разработать научно обоснованные подходы к выбору конкретных многокомпонентных систем с требуемыми функционально-эксплуатационными параметрами.

список использованной литературы

1. Адгезия и пористость медных ионных покрытий на стали / И.Л. Ройх, О.В. Лебединский, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе // Вакуумная металлизация в нар. хоз-ве: Тез. докл. II Межресп. науч.-техн. конф. - Рига, 1977. - С. 51-52.

2. Алешкин А.А. О возможности получения двухкомпонентных пленок металлов заданного состава испарением из сплава / А.А. Алешкин, Н.Н. Раров // Физика и химия обраб. материалов. - 1970. - № 4. - С.43-48.

3. Апаев Б.А. Динамика масс в испарителе непрерывного действия / Б.А. Апаев, С.А. Пиковский, Ф.В. Урьяш // Изв. вузов. Радиотехника. - 1971. - ХIV. - С.1778-1780.

4. Аржаникова И.Н. Влияние режимов испарения и конденсации на состав и структуру пленок сплавов Cu-Mn-Ni / И.Н. Аржаникова, З.В. Кичкина, В.Н. // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1978. - Вып. I. - С.3-7.

5. А.С. 269226. Сплав для изготовления микросхем / А.С. Косенков, Г.И. Павленко, В.П. Попов. - Опубл. в Б.И. 1970, №15, Н 05 к 7/00.

6. А.С. 434484. Токопроводящий материал / М.С. Блудов, А.А. Слягин. - Опубл. в Б.И., 1974, №24, Н 01 с 1/02.

7. А.С. 1522780. Способ очистки подложек / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий, №4221821 / 24-21, заявл. 03.04.87; опубл. 1989.

8. Бадиленко Г.Ф. Закономерности кинетики испарения и конденсации двойных сплавов // Проблемы спец. электрометаллургии. - 1975. - №2. -
С. 62-66.

9. Баранник В.П. К вопросу о том, как понимать и измерять коррозию металлов / В.П. Баранник, В.В. Романов // Защита металлов. - 1982. - т.18, №2. - С. 309-314.

10. Башев В.Ф. Электрические свойства напыленных пленок Al-Cu / В.Ф. Башев, Ф.Ф. Доценко, И.С. Мирошниченко // Физика металлов и металловедение. - 1990. - №11. - С. 201-202.

11. Белевский В.П. О некоторых особенностях формирования электрических свойств вакуумных конденсатов алюминия, никеля и золота / В.П. Белевский, М.В. Белоус, В.И. Недоступ // Физика и химия обраб. материалов. - 1972. - №4. - С. 30-34.

12. Беренблит В.М. Коррозия и каталитическая активность сплавов Cu-Ni / В.М. Беренблит, Г.П. Павлова, И.Н. Половинина // Пассивность и коррозия металлов. - 1971. - №3. - С. 54-56.

13. Бочкарев А.Б. Способ повышения стабильности тонкопленочных резисторов // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. - 1975. - Вып.6. - С. 42-45.

14. Бочкарева А.Я. Влияние температуры подложки на некоторые электрические характеристики резистивной пленки // Электронная техника. Сер. Радиодетали и радиокомпоненты. - 1977. - №4. - С. 40-46.

15. Введенский А.В. Физико-химические и электрохимические аспекты появления границ стойкости твердых растворов, содержащих благородный металл / А.В. Введенский, И.К. Маршаков // Конгр. Защита - 92: Расш. тез. докл. - М., 1992. - т.1, ч.1. - С. 52-54.

16. Вигдорович В.Н. Влияние легирующих элементов на электрофизические свойства конденсированных пленок сплавов меди / В.Н. Вигдорович, В.И. Попов // Изв. АН СССР. Металл. - 1979. - №6. - С. 47-53.

17. Влияние легирующих элементов на свойства конденсатов, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Физика и химия обраб. материалов. - 1971. - №3. - С. 38-42.

18. Влияние легирующих элементов на электрофизические свойства пленок на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. - 1975. - №5. - С. 136-138.

19. Влияние скорости движения среды на коррозию конденсатов Cu-Al в воде / А.Б. Яменко, В.Г. Гречанюк, Б.М. Емельянов и др. - К., 1990. - 14 с., ил. - Деп в УкрНИИНТИ 13.03.90. №487 - ММ90.

20. Влияние условий эксплуатации на электрофизические свойства вакуумных пленок сплавов на основе меди / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1979. - №12. - С. 13-16.

21. Горшков М.М. Эллипсометрия. - М.: Наука, 1974. - 368 с.

22. Гринченко В.Т. применение вакуумной плазменно-дуговой металлизации в производстве изделий электронной техники / В.Т. Гринченко, Г.Ф. Ивановский // Электронная пром-сть. - 1980. - №3. - С. 27-29.

23. Гуйван Э.И. Влияние легирующих элементов и условий напыления металлических пленок на их адгезионные свойства / Э.И. Гуйван, В.И. Попов // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. - 1971. - №8. -
С. 59-66.

24. Гусев И.В. О воспроизводимости свойств пленок медных сплавов / И.В. Гусев, С.И. Сидоренко // Вестник Киевск. политехн. ин-та. Сер. Машиностроение. - 1979. - №16. - С. 35-38.

25. Данилин Б.С. Вакуумные методы получения тонкопленочных элементов интегральных схем (состояние и перспективы развития) // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. - 1972. - №3. - С. 75-82.

26. Даркен Л.С. Физическая химия металлов / Л.С. Даркен, Р.В. Гурри. - М.: Металлургиздат, 1960. - 582 с.

27. Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. - М.: Мир, 1964. - 716 с.

28. Ермолаев Л.А. Пленочные резисторы и их параметры / Л.А. Ермолаев, А.И. Мочалов, Ю.Д. Чистяков // Сб. науч. тр. по проблемам микроэлектроники. - 1972. - №11. - С. 144-160.

29. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным напылением сплавов на основе меди / А.И. Корольков, Е.В. Лысова, Г.И. Павленко, В.И. Попов // Физика и химия обраб. материалов. - 1973. - №3. - С. 58-62.

30. Испарение сплавов на медной основе в вакууме / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова, М.И. Цыпкин // Сб. науч. тр. Гипроцветметобработка. Вып. 42. - М., 1974. - С. 105-112.

31. Использование сплавов меди для вакуумного напыления пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / А.М. Белоус, А.М. Косенков, Е.В. Лысова и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1972. - №1. - С. 14-19.

32. Использование сплавов на основе меди для вакуумного напыления пленочных элементов микросхем с высокой проводимостью / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1972. - №2. - С. 14-17.

33. Исследование анодных оксидных пленок на Cu-Ni сплавах / А.Н. Камкин, А.Д. Давыдов, Цзу-Гу Дин, В.А. Маричев // Электрохимия. - 1999. - т.35, №5. - С. 587-597.

34. Исследование формирования структуры пленок, полученных испарением в вакууме сплавов медь-никель-марганец / М.В. Белоус, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Физика и химия обраб. материалов. - 1975. - №6. - С. 66-68.

35. Исследование физико-механических и коррозионных свойств сплавов на основе меди и никеля / С.Д. Пидгайчук, В.И. Григорьев, А.Ф. Сидельник, В.Ф. Цуркан // Физико-хим. механика материалов. - 1993. - т.29. - С. 127-128.

36. Кабанченко М.П. Влияние легирующих добавок, полученных испарением конечных навесок сплавов на основе меди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, Г.М. Иванов // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1981. - №6. - С. 3-6.

37. Кабанченко М.П. Исследование износоустойчивости контактных площадок переменных непроволочных резисторов // М.П. Кабанченко, Л.П. Кошкина, А.И. Костржицкий // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1982. - №7. - С. 70-72.

38. Кабанченко М.П. Исследование технологии нанесения и свойств функциональных покрытий из сплавов на основе меди взамен серебрения: Автореф. дис. ... канд. техн. наук. - М.: МИЭТ, 1984. - 23 с.

39. Кабанченко М.П. Научные и практические аспекты получения термостабильных проводящих покрытий // М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Материалы Межд. конф. по электронно-лучевым технологиям. - Варна (НРБ), 1990. - С. 581-586.

40. Кабанченко М.П. Оптимизация процессов получения пленок с равномерным распределением по толщине на вращающихся подложках / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III Всесоюз. конф. - Ив.-Франковск, 1990. - С. 153.

41. Кабанченко М.П. О стабильности параметров переменных резисторов при длительном хранении / М.П. Кабанченко, Т.В. Кириллова, А.И. Костржицкий. - Деп. в ЦНИИ Электроника 1982, №8095/82. - 24 с. / опубл. в МСР ВИМИ “Техника, технология, экономика”. - 1982. - №12. Серия Т”.

42. Кабанченко М.П. Получение многокомпонентных токопроводящих покрытий методом испарения конечных навесок в вакууме / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, И.Л. Ройх // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1979. - Вып.6. - С. 117-124.

43. Кабанченко М.П. Применение вакуумных пленок сплавов на основе меди в электрических контактах / М.П. Кабанченко, Я.И. Лепих, А.И. Костржицкий // Техника средств связи. Сер. ТПО. - 1980. - №2. - С. 58-62.

44. Клебанов Ю.Д. Кинетика испарения сплава из одного источника с подпиткой / Физика и химия обраб. материалов. - 1978. - №4. - С. 64-69.

45. Клебанов Ю.Д. О кинетике испарения сплавов в вакууме / Ю.Д. Клебанов, Т.В. Привезенцева, В.Н. Сумароков // Физика и химия обраб. материалов. - 1977. - №3. - С. 50-54.

46. Коган В.С. Структура и электрические сопротивления конденсатов хрома, полученных в различных вакуумных условиях / В.С. Коган, Ю.Е. Семененко, А.П. Серюгин // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика и техника высокого вакуума. - 1974. - №1. - С. 56-62.

47. Колкер Я.Д. Математический анализ точности механической обработки деталей. - К.: Техника, 1976. - 200 с. с илл.

48. Колотыркин Я.М. Фундаментальные проблемы коррозии и пути их решения. - В кн.: 12-й Менделеевский съезд по общей и прикл. химии”: реф. докл. и сообщ. - М.: Наука, 1981. - №3. - С. 276-277.

49. Коррозионная стойкость электроконтактных материалов на основе меди в агрессивных средах / Г.Н. Братерская, В.А. Лавренко, С.П. Кохановский, В.В. Коробский // Физико-хим. механика материалов. - 1993. - т.29, №2. - С. 56-60.

50. Коррозия: Справочник / Под ред. Л.Л. Шрайера; пер. с англ. под ред. В.С. Синявского. - М.: Металлургия, 1981. - 632 с.

51. Костржицкий А.И. Исследование медных и медно-цинковых вакуумных покрытий на стали: Автореф. дис... канд. техн. наук. - М.: МВМИ, 1978. - 28 с.

52. Костржицкий А.И. К вопросу о математическом моделировании процессов получения многокомпонентных конденсированных систем // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всесоюз. конф. - Ив.-Франковск, 1990. - С. 31.

53. Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы применения многокомпонентных пленок в изделиях электронной техники // Физика и технология тонких полупроводниковых пленок: Тез. докл. III-й Всесоюз. конф. - Ив.-Франковск, 1990. - С. 12.

54. Костржицкий А.И. Способы получения и свойства коррозионно-стойких вакуумных многокомпонентных пленок и покрытий: Автореф. дис... докт. техн. наук. - М.: НИФХИ им. Л.Я. Карпова, 1988. - 37 с.

55. Костржицкий А.И. Формирование многокомпонентных вакуумных покрытий в установках барабанного типа при раздельном испарении компонентов // Физика и химия обраб. материалов. - 1987. - №1. - С. 99-103.

56. Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры железохромистых покрытий при ионном осаждении / А.И. Костржицкий, О.Ф. Гусарева // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. - 1987. - №1. - С. 167-172.

57. Костржицкий А.И. Моделирование процесса формирования вакуумных пленок и покрытий на вращающихся подложках // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Технология и конструирование электронной аппаратуры. - 1992. - №1. - С. 65.

58. Костржицкий А.И. Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов медь-олово и их аналогов // А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1980. - Вып.7. - С. 3-7.

59. Костржицкий А.И. Анализ равномерности толщины покрытий при конденсации на плоских вращающихся подложках / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Редунов. - Киев, УкрНИИНТИ, 1989, №1644 - Ук89. - 38 с.

60. Костржицкий А.И. Многокомпонентные вакуумные покрытия / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский. - М.: Машиностроение, 1987. - 208 с.

61. Костржицкий А.И. Электрохимическое поведение покрытий, полученных методом ионного осаждения в вакууме / А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Защита металлов. - 1979. - №3. - С. 343-345.

62. Костржицкий А.И. Проблемы использования сплавов меди взамен благородных металлов в тонкопленочных изделиях электронной техники / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих // Техника средств связи. Сер. ТПО. - 1981. - Вып.2. - С. 90-96.

63. Костржицкий А.И. Исследование вакуумных пленок сплавов на основе меди в системе “пленка - скользящий контакт” / А.И. Костржицкий, Я.И. Лепих, Ю.П. Тризна // Техника средств связи. Сер. ТПО. - 1980. - №3. -
С. 53-57.

64. Костржицкий А.И. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // ОДАХТ. Наукові праці. Вып.25. - Одесса, 2003. - С. 206-212.

65. Костржицкий А.И. Закономерности формирования структуры и фазового состава в конденсированных системах медь-олово и их аналогах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. - 2004. - №5. - С. 13-15.

66. Костржицкий А.И. Исследование поверхностных пленок на медно-оловянных конденсатах в различных условиях эксплуатации / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Электронная обраб. материалов. - 2003. - №5. - С. 22-26.

67. Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимические свойства конденсированных пленок сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Физико-хим. механика материалов. - 2004. - №4. - С. 665-669.

68. Костржицький А.І. Особливості електродних процесів на поверхні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / А.І. Костржицький, О.В. Ляпіна // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - т.5, №3. - С.564-571.

69. Костржицкий А.И. Проблемы и перспективы использования тонкопленочных структур из малолегированных сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Матеріали IХ Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. - Ів.-Франківськ, 2003. - т.2. - С. 219-220.

70. Костржицкий А.И. Электрохимические свойства пленок сплавов высокой проводимости / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина // Материалы III-й Межд. науч.-практ. конф. “Динамика науч. исслед.” - Днепропетровск, 2004. - т.63. - С. 24-25.

71. Костржицкий А.И. Коррозионно-стойкие конденсированные пленки сплавов меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы 23-й ежегод. межд. конф. “Композиционные материалы в пром-сти”. - Ялта, 2003. - С. 60-61.

72. Костржицкий А.И. Коррозионно-электрохимическое поведение конденсированных сплавов на основе меди / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.26. - Одеса, 2003. - С. 261-269.

73. Костржицкий А.И. Об опыте использования конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных металлов / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, А.Д. Соколов // Материалы IV ежегод. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях”. - Славское, 2004. - С. 74-75.

74. Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономерностей испарения и конденсации двойных металлических систем / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. - К., 1985. - 22 с. - Деп. в УкрНИИНТИ 25.06.85, №1409. - ММ 85.

75. Костржицкий А.И. Автоматизированный анализ закономерностей формирования вакуумных покрытий из бинарных сплавов при раздельном испарении компонентов / А.И. Костржицкий, Г.М. Редунов. - К., 1986. - 37 с. - Деп. в УкрНИИНТИ 06.08.86, №1849 - ММ 86.

76. Костржицкий А.И. Алгоритмическое и программное обеспечение анализа, закономерностей испарения и конденсации сплавов с числом компонентов более двух / А.И. Костржицкий, Г.Н. Редунов, О.Н. Соловьева. - К., 1985. - 29с. - Деп. в УкрНИИНТИ 24.06.85, №1408 - ММ 85.

77. Костржицкий А.И. Методы испытания металлов и металлических покрытий на коррозионную стойкость / А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов, М.П. Кабанченко. - М., 1989. - 67с. Деп. в ЦНИИТЭИ тракторсельмаш 1989, №1151 - ТС 89. Анот. опубл. в библиогр. справочнике - ВИНИТИ РАН “Депонированные научные работы” 1989, №9. - С. 144.

78. Лайнер Д.И. Активность компонентов в жидких сплавах Cu-Al / Д.И. Лайнер, Л.М. Островская, О.С. Серебрянникова // Изв. АН СССР. Сер. Металлы. - 1976. - №1. - С. 15-18.

79. Лахтин Ю.М. Металловедение и термическая обработка металлов. - М.: Металлургия, 1977. - 364 с.

80. Лепих Я.И. Сплавы на основе меди взамен серебра в контактных площадках / Я.И. Лепих, М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий // ЦНИИ Электроника, деп. №9779/ Реф. опубл. в “Сборник НИОКР обзоров, переводов и деп. рукописей”. Сер. РТ. - №21. - 1985.

81. Ляпина Е.В. Поведение конденсированных сплавов меди в растворе хлористого натрия с добавками Н₂О₂ / ОДАХТ. Наукові праці. Вип.27. - Одеса, 2004. - С. 305-308.

82. Ляпина Е.В. До питання щодо вологостійкості конденсованих систем мідь-олово і їх аналогів / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - т.6, №2. - С. 327-332.

83. Ляпина Е.В. Влияние состава сплавов меди на коррозионную стойкость конденсированных систем / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОДАХТ. Наукові праці. Вип.25. - Одеса, 2003. - С. 206-212.

84. Ляпіна О.В. Вплив термообробки на електрофізичні властивості конденсованих плівок сполук міді / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - т.6, №3. - С. 423-427.

85. Ляпіна О.В. До питання про одержання функціональних конденсаційних покрить прямим випаровуванням сполук у вакуумі / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - т.6, №1. - С. 161-164.

86. Ляпина Е.В. Коррозионно-электрохимические характеристики конденсированных пленок сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Современные проблемы материаловедения: Тез. докл. Откр. Всеукр. конф. молодых учёных науч. сотр. - Харьков, 2003. - С. 30.

87. Ляпина Е.В. Особенности электрохимического поведения конденсированных пленок сплавов медь-олово в кислый средах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // ОНАХТ. Наукові праці. Вип.27. - Одеса, 2004. - С. 293-299.

88. Ляпіна О.В. Особливості електродних процесів на поверхні конденсатів мідь-олово та їх аналогів у нейтральних середовищах / О.В. Ляпіна, А.І. Костржицький // Фізика і хімія твердого тіла. - 2004. - т.5, №3. -С.564-570.

89. Ляпина Е.В. Применение конденсированных пленок сплавов высокой проводимости взамен благородных металлов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий // Материалы II Межд. науч.-практ. конф. “Динамика научных исследований 2003”. - Днепропетровск, 2003. - т.36. - С. 39-40.

90. Ляпина Е.В. Технология получения и свойства пленок сплавов меди в электрических контактах / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. - К., 2004. - 24 с. - Деп. в ГНТБ Украины 05.01.04, №20 - ММ 04.

91. Ляпина Е.В. Функциональные конденсированные пленки из сплавов высокой проводимости и их свойства / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. - К., 2003. - 16с. - Деп. в ГНТБ Украины 01.09.03, №40. - ММ 03.

92. Ляпина Е.В. Физико-химические аспекты технологии конденсированных пленок сплавов высокой проводимости / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, В.Г. Задорожный // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффективность реализации научн., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях”. - Славское, 2005. - С.98-99.

93. Ляпина Е.В. К вопросу о влагостойкости конденсатов сплавов на основе меди / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий Р.А. // Матеріали Ювіл. Х Межн. конф. “Фізика і технологія тонких плівок”. - Ів.-Франківськ, 2005. - т.2. - С. 158-159.

94. Ляпина Е.В. Методика исследования электрических свойств тонкопленочных конденсированных структур / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, Р.А. Подолян // Материалы VII Міжн. наук.-практ. конф. “Наука і освіта”. - Дніпропетровськ, 2004. - т.61. - С. 3-5.

95. Ляпина Е.В. Особенности структуры и фазового состава конденсированных структур медь-олово и их аналогов / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Материалы V юбил. Пром. конф. “Эффективность реализации науч., ресурсного и пром. потенциала в современных условиях. - Славское, 2005. - С. 95-97.

96. Ляпина Е.В. Электрофизические свойства конденсационных пленок сплавов медь-олово в системе “пленка - скользящий контакт” / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий, А.Д. Соколов // Проблемы техники. - 2004. - №4. - С.22-28.

97. Ляпина Е.В. Анализ коррозионной стойкости сплавов Cu-Sn по данным потенциодинамических исследований / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы VII Межд. науч.-практ. конф. “Наука і освіта”. - Днепропетровск, 2004. - т.61. - С. 5-7.

98. Ляпина Е.В. К вопросу об оценке влияния состава конденсированных пленок сплавов меди на их электрические свойства / Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.И. Костржицкий // Материалы I Межд. науч.-практ. конф. “Науковий потенціал світу 2004”. - Днепропетровск, 2004. - т.61. - С. 21-23.

99. Майссел Л.И. Тонкопленочные резисторы. - В кн.: Технология тонких пленок. - М.: Сов. радио, 1977. - т.2. - 768с.

100. Методика исследования окисления металлов / Н.А. Шкляревский, Л.А. Агеев, В.П. Костюк, И.Л. Рачинский // Физика твердого тела. - 1968. - т.10, №9. - С.3097-3100.

101. Миркин Л.И. Рентгеноструктурный анализ. Справочное руководство. Получение и измерение рентгенограмм. - М.: Наука, 1976. - 284с.

102. Миркин Л.И. Справочник по рентгеноструктурному анализу поликристаллов. - М.: Госиздат физ.-мат. лит., 1961. - 360с.

103. Мовчан Б.А. Электроннолучевая плавка и рафинирование металлов и сплавов / Б.А. Мовчан, А.Г. Тихоновский, Ю.А. Куранов. - К.: Наукова думка, 1973. - 239с.

104. Некоторые закономерности формирования пленок алюминия и их электрические свойства / В.П. Белевский, В.И. Иванов, В.М. Недоступ и др. // Физика и химия обраб. материалов. - 1968. - №3. - С.104-109.

105. Об окислении вакуумных конденсатов сплавов на основе меди / М.П. Кабанченко, А.И. Костржицкий, О.В. Лебединский, И.Л. Ройх // Металловедение и термодинамическая обраб. металлов. - 1980. - №3. - С.34-36.

106. О возможности замены благородных металлов в некоторых изделиях электронной техники / А.И. Костржицкий, М.П. Кабанченко, Г.М. Иванов и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1979. - №1. - С.3-6.

107. О свойствах проводящих элементов пленочных микросхем, полученных напылением алюминия, никеля, меди и сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.С. Косенков, Г.И. Павленко и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1971. - №1. - С.101-105.

108. Основы эллипсометрии / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко и др. - Новосибирск: Наука, 1979. - 420с.

109. Особенности импульсных испарителей для напыления пленок / В.Г. Днепровский, Б.А. Осадин, Н.В. Русаков и др. // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. - 1972. - №3. - С.62-70.

110. Особенности испарения и формирования покрытий из сплавов олово - свинец // И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий и др. // Электронная техника. Сер. Материалы. - 1974. - №12. - С.15-18.

111. Особенности кинетики анодного растворения в хлористых растворах меди и золото-медных сплавов / А.Ш. Заядуллаев, А.Ж. Медведев, А.И. Маслий, Р.Ю. Бек // Физ. химия и электрохимия редк. и цв. мет.: Тез. докл. 7 кол. семин. / РАН Кол. науч. центр. - Апатиты, 1992. - С.42-43.

112. Особенности получения сплавов системы Cu-Al методом конденсации в вакууме / Д.И. Лайнер, А.С. Бай, Л.М. Островская и др. // Сб. науч. тр. / Гипроцветметобработка. Вып. 39. - М., 1973. - С.44-48.

113. Пазухин В.А. Разделение и рафинирование металлов в вакууме / В.А. Пазухин, А.Я. Фишер. - М.: Металлургия, 1969. - 208с.

114. Палатник Л.С. К вопросу о механизме конденсации металлов в вакууме / Л.С. Палатник, Ю.Ф. Комник // Доклады АН СССР. - 1959. - т.124, №4. - С.808-811.

115. Палатник Л.С. Изучение закономерностей испарения сплавов / Л.С. Палатник, Г.Ф. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металловедение. - 1966. - т.21, №3. - С. 409-413.

116. Палатник Л.С. Исследование процессов испарения и объемной конденсации сплавов / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Доклады АН СССР. - 1964. - т.158, №3. - С. 586-590.

117. Палатник Л.С. О характере испарения и конденсации сплавов олово - свинец / Л.С. Палатник, Г.В. Федоров, П.Н. Богатов // Физика металлов и металловедение. - 1966. - т.21, №5. - С. 704-709.

118. Палатник Л.С. Механизм образования и субструктура конденсированных пленок / Л.С. Палатник, М.Я. Фукс, В.М. Косевич. - М.: Наука, 1972. - 320с.

119. Попов В.И. Закономерности формирования структуры и свойств пленок, полученных вакуумным испарением сплавов меди // Физика металлов и металловедение. - 1974. - №3. - С. 560-564.

120. Попов В.И. О связи рельефа поверхности пленок металлов и сплавов с их зернистой структурой // Физика и химия обраб. материалов. - 1975. - №1. - С.51-53.

121. Попов В.И. Фракционирующие сплавы на основе меди и технология изготовления гибридно-пленочных микросхем // Электронная техника. Сер. Микроэлектроника. - 1973. - №1. - С.72-75.

122. Ржанов А.В. Эллипсометрические методы контроля в микроэлектронике / А.В. Ржанов, К.К. Свиташев, А.И. Семененко // Микроэлектроника. - 1975. - т.4, №1. - С.3-23.

123. Розенфельд И.Л. Ускоренные методы коррозионных испытаний металлов / И.Л. Розенфельд, К.А. Жигалова. - М.: Машиностроение, 1966. - 220с.

124. Ройх И.Л. Защитные вакуумные покрытия на стали / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова. - М.: Машиностроение, 1971. - 280с.

125. Ройх И.Л. Нанесение защитных покрытий в вакууме / И.Л. Ройх, Л.Н. Колтунова, С.Н. Федосов. - М.: Машиностроение, 1975. - 358с.

126. Ройх И.Л. Получение покрытий из сплавов в вакууме / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.Н. Федосов / Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва и оборуд. - 1975. - №6. - С.51-60.

127. Ройх И.Л. Применение метода испарения и конденсации в вакууме для получения новых защитно-декоративных покрытий из сплавов / И.Л. Ройх, С.Н. Федосов, А.И. Костржицкий // Материалы науч.-техн. семинара “Современные защитно-декор. покрытия металлов”. - М., 1974. - С.156-159.

128. Россинский В.А. Исследование процесса термического испарения в вакууме многокомпонентных сплавов / В.А. Россинский, Т.И. Самохвалова, Л.Т. Прокофьева // Электронная техника. Сер. Технология и орг. пр-ва. - 1971. - №2. - С.71-75.

129. Рыбин Б.С. Процессы диффузии и теплопроводности в вакуумных конденсатах / Б.С. Рыбин, И.Л. Ройх // Физика металлов и металловедение. - 1970. - т.30, №2. - С.276-280.

130. Соколов А.Д. Исследование адгезии и защитных свойств вакуумных хромовых покрытий на салумине, чугуне и стали: Автореф. дис... канд. техн. наук. - Одесса, 1974. - 26 с.

131. Соколов А.Д. Структура и защитные свойства ионно-плазменных покрытий из сплавов хрома на стали / А.Д. Соколов, А.И. Костржицкий // Материалы IХ Межд. коф. “Физика и технология тонких пленок”. - Ив.-Франковск, 2003. - т.2. - С. 228-229.

132. Соловьева О.Н. Технология нанесения вакуумных пленок на неподогреваемые подложки: Автореф. дис... канд. техн. наук. - Киев, 1987. - 24 с.

133. Соловьева О.Н. Адгезионное взаимодействие в системе “металл - окисел” при конденсации на неподогреваемые подложки / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Материалы IV науч.-техн. конф. “Вакуумные покрытия - 87”. - Рига, 1987. - ч.II. - С.35-38.

134. Соловьева О.Н. Об адсорбционной и адгезионной активности поверхности оксида, модифицированной в тлеющем разряде / О.Н. Соловьева, А.И. Костржицкий // Физика и химия обраб. материалов. - 1990. - №2. - С. 60-64.

135. Справочник оператора установок по нанесению покрытий в вакууме / А.И. Костржицкий, В.Ф. Карпов, М.П. Кабанченко, О.Н. Соловьева. - М.: Машиностроение, 1991. - 174с.

136. Технология изготовления пассивных элементов микросхем с высокой проводимостью путем вакуумного напыления сплавов на основе меди / М.В. Белоус, А.М. Корольков, А.С. Косенков и др. // Электронная техника. Сер.10. - 1971. - №3. - С.18-24.

137. Толкачев С.С. Таблицы межплоскостных расстояний. - Л.: Химия, 1968. - 426с.

138. Урьяш Ф.В. Динамика примеси при испарении металлов в испарителе непрерывного действия // Электронная техника. Сер. Технология, орг. пр-ва и оборуд. - 1973. - №6. - С. 9-12.

139. Физико-химические свойства тонких пленок, напыленных на неметаллическую основу. IV. Начальное сопротивление пленок алюминия / Л.К. Лепинь, В.М. Кадек, Ю.Н. Соколов и др. // Изв. АН Латв. ССР. Сер. Хим. - 1976. - №5. - С. 574-580.

140. Фракционирование бинарных сплавов при испарении из одного тигля / И.Л. Ройх, А.И. Костржицкий, С.А. Приббе, С.Н. Федосов // Физика и химия обраб. материалов. - 1976. - №3. - С. 50-53.

141. Харинский А.П. Основы конструирования радиоаппаратуры. - М.: Энергия, 1971. - 358с.

142. Холлэнд Л. Нанесение тонких пленок в вакууме. - М.: Госэнергоиздат, 1963. - 608с.

143. Чеботарева Н.П. Особенности коррозионного поведения меди в сульфатных средах, содержащих азотную кислоту / Н.П. Чеботарева, А.И. Маршаков, Ю.Н. Михайловский // Защита металлов. - 1993. - т.29, №6. - С. 900-905.

144. Черепнин Н.В. Сорбционные явления в вакуумной технике. - М.: Машиностроение, 1975. - 278с.

145. Чистяков Ю.Д. Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю.Д. Чистяков, Ю.П. Райнова. - М., 1980. - 386с.

146. Шишаков Н.А. Строение и механизм образования оксидных пленок на металлах / Н.А. Шишаков, В.В. Андреева, Н.К. Андрущенко. - М., 1959. - 322с.

147. Электрофизические параметры вакуумно-конденсированных резистивных элементов на основе некоторых сплавов системы медь - марганец - титан / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Радиоэлектроника. - 1977. - т.20, №1. - С. 76-78.

148. Электрохимическое поведение конденсированных пленок сплавов медь - олово в щелочных средах / А.И. Костржицкий, Е.В. Ляпина, Р.А. Подолян, А.Д. Соколов // Проблеми техніки. - 2004. - №1. - С.78-87.

149. Электрофизические свойства конденсатов некоторых сплавов медь - марганец - никель, полученных методами вакуумной технологии / Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова, В.И. Попов, А.А. Попова // Известия вузов. Сер. Физика. - 1976. деп. №2444-76.

150. Электрофизические свойства пленок, полученных вакуумным испарением сплавов системы медь - марганец / В.И. Попов, Н.Р. Бочвар, Е.В. Лысова и др. // Металловедение и термическая обраб. металлов. - 1976. - №7. -С.63-65.

151. Augis J.A. Sputter deposition of a metastable equiatomatic tin-nickel alloy / Augis J.A., Bennwet J.E. // Journ. electrochem. Soc. - 1977. - v.124, №9. - Р. 1455-1458.

152. Characterisation of passive film on copper / Sathiyanarayanan S., Manoharan S.P., rajagopal G., Balakrishnan K. // 6^th Int. Symp. Passivity: Passivat. Metals and Semicond., Sapporo, 1989. - P.3-15.

153. Cnan E.C. Ellipsometric study of Ni-surfaces / Cnan E.C., Marton J.P. // J. Appl. Phys. - 1972. - v.43, №4. - Р.1681-1684.

154. Corrosion, passivation et protection du cuivre en solutions aqueuses T. Mecanisme cyclique de la corrosion / Le Gal La Salle A., Jardy A., Rosset R. at all // Mem. et Etud. Sci. Rev. Met. - 1992. - v.89, №3. - P.171-182.

155. Crousier J. Behaviour of Cu-Ni alloys in natural sea water and NaCl solution / Crousier J., Beccaria A. / Werkst. und Korros. - 1990. - v.41, №4. - P.185-189.

156. Crousier J. Corrosion behaviour of a series of Cu-Ni binary alloys in slightly alkaline solution containing Cl- / Crousier J., Beccaria a. // 11^th Int. Corros. Congr. Innov. and Technol. Transfer Corros. Contr. - Florence, 1990. - v.4. - P.319-324.

157. Dale E.B. Theory of steady-state evaporation of alloys // Journ. Appl. Phys. - 1970. - №1. - P. 3697-3701.

158. Decany I. Failure mechanisms of electrical contacts surfaces / Decany I., Kormany T. // "Proc. ATFA. 77, Los-Angeles, Calif., 1977", New York, N.Y., 1977. P.159-169.

159. Electrochemical behaviour of rapidly solidified and conventionally cast Cu-Ni-Sn alloys / Deyong L., Elboujdaini M., Themblay R., Ghali e. // Appl. Electrochem. - 1990. - v.20, №5. - P. 756-762.

160. Foster J.S. Vacuum deposition of alloys: theoretical and practical cosiderations / Foster J.S., Pfeifer W.H. // Journ. Vac. Sci. technol. - 1972. - v.9, №6. - P. 1379-1384.

161. Hughes J.L., Making alloys foils by electron beam evaporation // Metals Eng. Quaterly. - 1974. - v.14, №1. - P. 1-12.

162. Kostrjitskiy A.I. Electrochemical behaviour of low-doped copper alloys films / Kostrjitskiy A.I., Lyapina E.V. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Recearch. - Belgium, Brussel, 2004. - P. 284.

163. Kostrjitskiy A.I. The preparation and properties of thin copper alloys film / Kostrjitskiy A.I.. Lyapina E.V., Sokolov A.D. // Proc. Int. Conf. on Non-Crystalline Inorganic Materials “CONCIM-2003”. - Germany, Bonn, 2003. - P. 133.

164. Lewis C.W. Condensation and evaporation of solids / Lewis C.W., Schick M.I. // Rutner et al eds. - New York, 1962. - P. 131.

165. Long T.R. Palladium alloys for electrical contacts // Paper presented at the annual Holm seminar "Platinum metal Rev". - 1976. - v.20, №2. P.46-47.

166. Lyapina E.V. Corrosion-electrochemical properties of copper alloys in neutral solution / Lyapina E.V., Kostrjitskiy A.I., Tishchenko V.N. // Proc. of 8-th Int. Symp. on Electrochemical Methods in Corrosion Research.-Belgium, Brussel. - 2003. - P.285.

167. Mattsson Einar. Ammonia test for stress corrosion resistance of copper alloys // Mattsson Einar, Holm Rolf, Hassel Lars // Use Synth. Environ. Corros. Test.: Symp. Teddington, 1986. - Philadelphia (Pa), 1988. - P. 152-164.

168. Milosev I. Kinetics and mechanism of Cu-Ni alloys corrosion in the presence of Cl ions / Milosev I., Metikos-Hukovic // 11^th Int. Corros. Congr.: Innov. and Technol. Transfer Corros., Contr., Horence, 2-6 Apr., 1990. - v.3 / Assoc. Ital. Meet. - Milano, [1990]. - P. 523-530.

169. Mechanism of corrosion in Al-Si-Cu / Hayasaka Nobuo, Koga Yuri, Shimomura Koji at all // Toshiba Selec. Pap. Sci. and Technol. - 1992. - v.4, №1. - P. 97-101.

170. Politicki A. Structure and electrical properties of thin film resistor materials / Politicki A., Heiber K. // Siemens Forshungs und Entwicklugsber. - 1974. - v.3, №4. P. 248-254.

171. Popplewell J.M. Stress corrosion resistance of some base alloys in natural atmospheres / Popplewell J.M., Gearing T.V. // Corrosion 5 (USA). - 1975. - v.31, №8. P.279-286.

172. Potentiodynamic behaviour of Cu-Al-Ag alloys i NaOH: A comparative study related to the pure metals electrochemistry / Benedetti A.V., Nakazato R.Z., Sumodjo P.T. at all // Electrochim acta. - 1991. - v.36, №9. - P.1409-1421.

173. Rogers B.R. Localized Corrosion of aluminum - 1,5% copper thin films exposed to photoresist developing solutions / Rogers B.R., Wilson S.R., Cale T.S. // 37^th Nat. Symp. Amer. Vac. Soc., Toronto, 8-12 Oct., 1990 / Pt.2. J. Vac. Sci. and Technol. A. - 1991. - v.9, №3. - Pt.2. - P.1616-1621.

174. Santala T. Kinetics and thermodynamics in continiuos electron-beam evaporation of binary alloys / Santala T., Adams C.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. - 1970. - vol.7. - №6. - P. 522-529.

175. Sato Mitsonuri. Infpluence of oxides on material transfer behaviour of silver base contacts, containing various metal oxides / Sato Mitsonuri, Hijikata Masayuki // Trans Jap Inst Metals, 1974 - v.15, №6. P.399-407.

176. Shibad P.R. Corrosion film formed on copper and copper base alloys in salt water / Shibad P.R., Singh P.R., Gadiyar H.S. // J. Electrochem. Soc. India. - 1989. - v.38, №3. - P. 306-309.

177. Scnults L.S. The optical properties of Ag, Au, Cu and Al // J. Opt. Appl... - 1954. - v.44, №5. - P. 357-359.

178. Som C.S. The range of applicability of the exact first order ellipsometric calculation / Som C.S., Choudnury C.N. / Nouv. Rev. Opt. Appl. - 1972. - №2. - P. 389-394.

179. Sterling A. Accelerated atmospheric corrosion of copper and copper alloys / Sterling A., Atrens A., Smith T.O. // Brit. Corros. J. - 1990. - v.25, №4. - P. 271-278.

180. Swift R.A. Fractionation of Ni-Cr-Cu-Al alloys during vacuum evaporation / Swift R.A. Noval B.A., Merz K.M. // Journ. Vac. Sci. Technol. 2. - 1968, vol.5. - №3. - P.79-83.

181. The evaluation of the technology for depositing NiCr resistivity film / Tavses R., Kansky E. et al // Thin Solid Films. - 1976. - v.36, № 2. P.279-282.

182. Terada K.C. Vacuum deposition of tin-selenium film / Journ. Vac. Phys. D.: Appl. Phys. - 1974. - vol.4, № 12. - P.1991-1997.

183. Tseng P. Electrical resistivity of copper - 5 wt. % tin / Tseng P., Tangri K. // Scripta Metallurgica, Pergamon Press. - 1976. - v.10, № 10. P.933-936.

184. Van de Leest R.E. Aluminium-implanted copper and sputtered copper alloys as electrical contact materials / Eur. Res. mater., Substitut. Proc. Final Contr. Meet., Brussels, 9-11 Dec., 1986. - London; New Yourk, 1988. - P. 125-132.

185. Wagner S. Activities in dilute solution of chromium and iron in nickel at 1600C by mass spectro metry / Wagner S., Shade D.J., Pierre G.R. // Metallurg. Trans. - 1972. - №3. - P.47-53.

186. Whitely J.H. Rational selection of alternate materials for electrical connector contacts // Proc 24 th Electronic Components Conference. - Washington DC, May, 1974.

187. Wilder T.C. The thermodynamic properties of liquid aluminium-copper system // Trans AIME2. - 1965, vol.233. - P.1202.

188. Wojtas H. Corrosion and electrochemical characterization of rapidly solidified Cu-B, Cu-Al-B, Cu-Cr-Zn alloys / Wojtas H., Bachni H. // Mater. Sci and Eng. A. - 1991. - v.134. - P. 1065-1069.

189. Zinsmeister G. The direct evaporation of alloys // Vakuum-Tech. - 1964. - №8. - P.233-240.

190. Ляпина Е.В. Физико-химические основы процесса получения конденсационных многокомпонентных покрытий прямым испарением сплавов в вакууме / Е.В. Ляпина, А.И. Костржицкий. - К., 2004. - 34с. - Деп. в ГНТБ Украины 11.10.04, №66 - ММ 04.